| 【中文篇名】 | 条纹计数式干涉测长仪的闲区误差及其全误差实时补偿 |
| 【作者】 | 陈明仪; |
| 【作者单位】 | 上海科技大学精密机械工程系; |
| 【文献出处】 | 光学仪器 , Optical Instruments, 编辑部邮箱 1981年 03期 期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 干涉条纹; 实时补偿; 闲区误差; 标准状态; 测长仪; 分布公式; 条纹计数; 误差补偿; 动态测量误差; 激光干涉仪; |
| 【摘要】 | 本文根据参考文献中导出的全误差分布公式,再次论述了“闲区误差”的物理本质及特点,业提出了可供实用的全误差实时补偿公式及其可能获得的效果。 |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:GXYQ.0.1981-03-000 |
| 【更新日期】 | 2006-10-20 |
| 【正文快照】 | 自激光间世以来,条纹计数式干涉仪广泛地用于测长、定位和控制系统中。为了获得高精度的结果,七十年代以前,多半从严格控制测量环境着手。如为获得每米0.05微米的线纹尺检测精度,美国NBS的一台一米激光干涉仪,置于四周用恒温水浴控制的保温室内,以确保温度波动不大于O。01℃,而 |
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