【中文篇名】 | 漏磁变压器的实验 |
【作者】 | 杨惠民; |
【作者单位】 | 上海科学仪器厂; |
【文献出处】 | 真空科学与技术 , [英文刊名], 编辑部邮箱 1981年 02期 期刊荣誉:中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
【中文关键词】 | 高压电源; 陡降曲线; 漏磁变压器; 短路电流; 高真空; 低真空; 磁分路; 溅射离子泵; 次级线圈; |
【摘要】 | <正> 一、漏磁变压器的应用溅射离子泵两电极之间,电子被钛极接收,离子被钽极接收,因此,溅射离子泵高压电源在低真空时接近短路工作,在高真空时接近开路工作。用于溅射离子泵高压电源的漏磁变压器就是一种能够适应小电流、高电压及在短路时固定电流工作的特殊变压器。漏磁变压器不仅可以短路,使其输出呈陡降特性,还可以通过改变结构形式来改变陡降曲线的斜率,以使溅射离子泵获得较大抽速。正> |
【DOI】 | CNKI:SUN:ZKKX.0.1981-02-010 |
【更新日期】 | 2006-10-20 |
【正文快照】 | 一、翻成变压公的应用 溅射离子泵两电极之间,电子被钦极接收,离子被担极接收,因此,溅射离子泵高压电源在低真空时接近短路工作,在高真空时接近开路工作。用于溅射离子泵高压电源的漏磁变压器就是一种能够适应小电流、高电压及在短路时固定电流工作的特殊变压器。 漏磁变压器不 |