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  真空联机密封功能取决于联接处的泄露和真空资料的放气。对任何真空体系总期望漏、放气量与密封方式、密封资料、加工精度及装配质量等许多要素有关，故在联接处总会存在必定的漏、放气量，因此可依据真空体系作业的性质，真空室作业作业应力的凹凸及其出口处抽气速度的巨细提出要求。

　　真空体系中的压力在高于10-5Pa真空规模内广泛运用合成橡胶、环氧树脂和塑料。当真空度说到压力10-7Pa的真空规模时，这些密封资料就不能用了，需求运用超高真空的密封资料如金或铜作垫圈，而真空壳体不能用软刚需求改用不锈钢。

　　金属缠绕垫片的超真空气体内的气体状况是动态平衡状况。体系内的压力极限，一方面与泵的有用抽速有关，另一方面与来自真空壳体及其内部的零部件的气流量有关。因虽有体系的有用抽速由于泵有结构尺度和费用的原因，总存在实践约束。所以，削减气流量就成为达到超高真空状况的根本设计方针，成为挑选超高真空资料的首要原则。

　　作为真空体系内部用的资料，要求饱满蒸汽压低，为了削减缓慢解吸和体出气，要求能耐450℃高温烘烤，而不降低机械强度和不发生化学和物理损害。作为真空体系壳体资料，要求能疏忽气体浸透，接受得住大气压的压力，烘烤期间耐空气腐蚀和不发生漏气。此外，要求选用资料，加工制造简单，价廉易得。

　　关于真空度低于10-7Pa的超高真空，虽然xx和合成橡胶是抱负的密封圈资料，弹性好，装配成真空密封后法兰螺栓受力很小，而且能够屡次重复运用。但由于超高真空体系要求密封圈资料耐250℃烘烤，实践上可可供选用的几种橡胶资料都不能满意要求。真空度更高(即压力更低)的超高真空，则有必要选用金属密封。