随着科学技术的发展,不仅对某些精密零件的尺寸、粗糙度、形位和位置公差的要求都非常高,而且对它们的检测速度要求要快、效率要高。一些传统的检测手段和圆度仪已不能满足这些高精度、高效率、高可靠性的精密零件的检测要求。为实现精密零件形位和位置公差的高效、快速、可靠地检测,需要运用当今高科技的检测手段。基于激光的光电检测手段是包含光学技术、机械技术、微电子技术、计算机技术、信息技术、自动控制技术和通讯技术的当今{zx1}的高科技一种检测方法。而且它具有以下优点:
1.与电传感器相比,CCD激光位移传感器的优点在于:它是非接触式的检测,可以xxxx零件的径向跳动对测量结果的影响。而且通过对各个传感器标定,并采用最小二乘法线性拟合标定数据,进一步提高系统的测量精度。从而克服了传统圆度仪的测头接触式测量带来的弊端。
2. 与激光干涉仪相比,CCD激光的优点在于:激光干涉仪利用干涉现象,以波长作为位移测量的单位基准。而CCD激光位移传感器不利用干涉现象是以“激光腔镜移动半波长、激光频率移动一个纵横间隔”为工作原理的,激光器自身变成了位移传感器,不利用干涉现象,但以波长做尺子,比激光干涉仪简单得多,造价低得多。
3. 可实现运动零件、非接触式的连续、快速的在线检测。
4.线性度好,因为“激光腔镜移动半波长,频率移动一个纵模间隔”的规律在任何激光腔长下都成立,在任何测量范围内都成立,它没有原理上的非线性[2]。
5.有较高的分辨率和精度。对于633nm波长He-Ne激光,八分之一波长是0.079Mm。