Qualtre公司研发的没有可动部件的MEMS陀螺仪将在今年初次亮相。这种新型MEMS陀螺仪的惯性传感器利用了体声波传输延时效应。
BAW技术历来用于滤波器的模拟信号处理。这种滤波器将材料对电磁波的延时特性作为阶梯、网格、堆栈拓扑结构滤波器的延迟线。当BAW技术用于陀螺仪时，沿着硅振动质量块周边布置电容传感器阵列以检测硅质量块由于响应运动而产生的变形。这种没有运动部件的陀螺仪比传统的MEMS陀螺仪更小、更便宜、更可靠。由于这种陀螺仪的信号放大处理是在机械能域中完成的，因而其功耗比传统的MEMS陀螺仪更低。
这种MEMS陀螺仪能应用与xx、导航领域和数字照相机、摄像机光学图像防抖系统中。
Qualtre公司计划在未来的几个月内向客户提供这种MEMS陀螺仪的试用品，标准产品将在年底问世。
