Advanced Diamond Technologies（ADT）公司目前发布一种刻蚀方案，可使广大工程师可靠并相对廉价地设计基于钻石材料的器件和传感器，通过这种干法刻蚀工艺及标准化流程，设计者可以方便制造钻石材料的微器件和传感器，xx传统钻石工艺的复杂性。
ADT总裁Neil Kane表示：“使钻石工艺变得容易实现、相对廉价的工艺已经完成和实现了。我们已经发布了该方案，钻石因此可以并入过程流中，采用与硅工艺相同的设备和材料。我们已经xx了制造钻石器件的风险和神秘感，并希望能够激发设计师的创造力和聪明才智，让他们不必担心过程步骤。”
此前发表的“采用电子束光刻和电感耦合等离子体反应离子刻蚀实现纳米钻石头的制造”描述了为原子力显微镜（AFM）探针制造尖锐钻石头的刻蚀方案。干法蚀刻方案进行优化后，采用ADT的UNCD ? Wafers可实现{zg}每分钟650纳米的刻蚀率。同时通过调节参数可实现较低的刻蚀率，适用于开发更精巧的纳米结构。
采用ADT的UNCD Wafers的客户应用范围很广泛，产品包括原子力显微镜探针、相控阵雷达开关、检测水中大肠杆菌的生物传感器、LED照明、以及用于水净化的掺硼金刚石电极等。这项简单而优化的方案使得钻石蚀刻的发展道路变得平坦许多，如今二维和三维的钻石结构已能够可靠实现，如高性能RF MEMS器件和加速度计。
关于Advanced Diamond Technologies (ADT)：ADT是一家致力于将Argoone国家实验室的纳米金刚石技术商业化的公司，并是其{dj2}许可企业。ADT是世界经济论坛2007的技术先驱，近年来已获得诸多行业奖项。
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