四探针- qxdz001 - qxdz001 - 和讯博客
四探针
[原创 2010-04-06 16:22:55]
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产品名称:
四探针
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产品类型:
辅助设备
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应用行业:
半导体工艺
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关 键 字:
四探针
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联系方式:
010-84572690/64361831转8416,8417,8418
产品简介:
设备用于测量硅片的薄层电阻和电阻率,也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率,且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行监测和评估,该测试仪还可用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。
产品详细描述:
主要指标:
适用晶片尺寸:2”~6”,125mm×125mm~156mm×156mm
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