ADVENT SOLAR向EDWARDS订购废气处理设备?来源：SEMI?? 2007-09-07?? 点击:566全球{lx1}真空、及化学设备供应商Edwards日前宣布，已将数套废气处理设备售与及模块制造商Advent Solar公司。 Edwards Hot Oxidation Systems (HOx)系统成本低性能高，专为太阳能电池及半导体CVD除气设计。该系统将安装在Advent Solar新墨西哥工厂内，用于太阳能电池PECVD过程中的废气处理。
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