遥感用硅PIN二极管
| 【中文篇名】 | 遥感用硅PIN二极管 |
| 【英文篇名】 | Silicon PIN Photodiodes for Remote Sensing |
| 【作者】 | 蒋（山戈兀华; 高毓秋; 孙德庆; 林宝芳; |
| 【英文作者】 | Jiang Xiaohua; Gao Yuqiu; Sun Dcqing; Lin Baofang （Shanghai Institute of Technical Physics Acadernia Sinica）; |
| 【作者单位】 | 中国科学院上海技术物理研究所; |
| 【文献出处】 | 固体电子学研究与进展 , Research & Progress of Solid State Electronics, 编辑部邮箱 1984年 03期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 响应率; 暗电流; 结电容; 外延片; 遥感仪器; 反偏; PIN二极管; |
| 【摘要】 | 本工作研制适合于在0.5～1.1μm和0.55～0.75μm波段内工作的硅PIN光电二极管。叙述了器件的设计考虑和制造,分别采用双面扩散和高阻外延片单面扩散两种方法制造该器件,达到了预期的要求。文中给出了器件的光谱响应、暗电流、探测率,响应速度及响应均匀性等结果,并进行了讨论。研制出的器件性能良好,探测率D*为7×10~(12)cmHz~(1/2)/w左右。 |
| 【英文摘要】 | The silicon PIN photodiodes suitable for 0.5-1.1μm and 0.55-0.75μm spectral range are developed. The design considerations and fabrication of the devices are described. Two fabrication methods, epitaxy and diffusion techniques, are used respectively according to performance requirements. Sensitivity, spectral response, dark current-voltage characteristics, detectivity, response time and sensitivity profile are given and discussed. The derices have a good detectivity of 7×1012 cmHzl/2W-1. |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:GTDZ.0.1984-03-005 |
| 【正文快照】 | 一、引 论 遥感是本世纪六十年代后在国际上迅速发展起来的一{1新兴的综合性探测技术,近二十年来已经在地质、地理、农林业、海洋、水文、工程建设、环境保护等各方面广泛地得到应用。硅光电二极管是遥感仪器的最重要的探测器之一,它用于对可见、近红外光谱的探测。 所谓硅*N二 |
