Author: 光伏国际| 2009-09-02 | Category: | Feedback()
公司NewView 3DPV-TF能够观察并表征激光划线工艺的性能。基于白光扫描干涉显微镜（SWLI），它能帮助在薄膜太阳能光伏面板上快速表征刻蚀深度和3D沟道形貌，以及激光光束间的变化和表面碎片。
像其他产业一样，太阳能电池产业面临不断增长的效率需求，目的是为了最小化或xx新产品线的产能损失，降低每瓦成本，这意味着需要新的、高效的技术。
该系统的工作台架尺寸可达1x1m至2x2m，它源自ZYGO在平板显示行业的多年经验，ZYGO将其扩展至光伏制造中，可为量产做好准备。
NewView 3DPV-TF的核心基于ZYGO的NewView 7000系列。测量过程精密，高速，非接触，且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000μm，基于ZYGO 专利的扫描技术，无论怎样的表面形貌，放大倍数以及台阶特性，NewView7000系列只需一次扫描即可达到0.1nm的纵向分辨率，并获得所有的被测参数。
白光扫描干涉仪NewView?系列能够从样品表面反射和参照反射的相干光中产出形貌高度数据。干涉物镜在垂直方向上进行扫描，CCD记录下干涉条纹的演变。计算机通过分析条纹演变过程中的强度变化，就能xx确定样品形貌的高度。
硅太阳能电池测量
TCO表面粗糙度
过去，测试样品时，只有一个调制信号被检查到，但大部分的样品如半导体、MEMS、平面显示屏、薄膜光伏面板等，这些样品透射且能在样品的同一点上产生多个调制信号，利用传统的分析方法来处理这些信号有可能导致不正确或不存在的数据。为分离多个调制信号，MetroPro?8.1.1（或更高级版本）包含ZYGO专利的薄膜xxxx——TopSlice和FilmSlice可以xx这些缺陷并让用户获得下列结果：
? 单独测量薄膜顶部表面形貌
? 单独测量薄膜底部表面形貌
? 单独测量薄膜厚度、顶部表面形貌和底部表面形貌
