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电泳法制造玻璃钝化微波半导体器件

【中文篇名】	电泳法制造玻璃钝化微波半导体器件
【英文篇名】	Microwave Semiconductor Devices with Glass Passivation by Electrophoretic Methods
【作者】	林立强; 谢舒;
【英文作者】	Lin Liqiang; Xie Su; （Nanjing Solid State Devices Research Institute）;
【作者单位】	南京固体器件研究所;
【文献出处】	固体电子学研究与进展 , Research & Progress of Solid State Electronics, 编辑部邮箱 1984年 03期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	电泳沉积; 电冰; 微波半导体器件; 电泳法; 电泳速度; 介质液体; 玻璃钝化;
【摘要】	本文系统地阐述了玻粉电泳沉积的基本理论和规律,并推导了玻粉电泳沉积的动力学方程; 论述了用此技术制造微波半导体器件的工艺原理、特点和途径。所制器件寄生参量小、可靠性高,在毫米波电路中显示出极大的优越性。
【英文摘要】	This paper systematically deals with basic theory and rules of electrophoretic deposition glass particles, and derives its kinetics equation as well.Also disscussed are primary technology principles as well as the approach and special technology of microwave semiconductor devices developed by the electrophoretic method.The finished devices have high-reliability and less parasite parameter showing promising applications in mm-wave circuit.
【DOI】	CNKI:SUN:GTDZ.0.1984-03-006
【正文快照】	一、引言玻璃钝化原理及其工艺技术要点先前已有报导“’,‘,本文旨在阐述当今世界上在粉末玻璃钝化工艺中采用的{zxj}方法——电泳法。自1809年莫斯科大学教授莱斯(Peftce)发现溶胶的电动现象“’以来,该现象被人们观察和研究至少已有170多年的历史,如今,电泳已发展成一门