IC工艺中直接键合是否会超越TSV?

在3D IC工艺中直接键合是否会超越TSV?

2015-04-09 来源:半导体行业观察

    上月底,Ziptronix公司宣布与索尼公司签署了一份专利许可协议,将DBI混合键合专利技术用于索尼高级图像传感器。

    这本是一则关于代工技术的小新闻,但新闻稿中这句话点亮了我:该公司首席执行官兼总裁Dan Donabedian表示,“2011年,索尼获得了Ziptronix的ZiBond直接键合专利技术许可,这项技术帮助索尼的图像传感器的市场份额从几个百分  点扩大为市场占有率{dy}。”

    索尼于 2011 年从 Ziptronix 获得 ZiBond 技术许可之前,他们在CMOS图像传感器领域的市场份额不到5%。2011年获得许可后,Sony迅速飙升至{dy},目前已超过 35%。那么,问题来了,混合键合专利在其中承担了多大的推动力?

什么是直接键合技术?

    ZiBond 是专利低温直接键合技术Direct Oxide Bonding,支持材料低温键合,其残余应力和变形程度比其他键合技术更低。

    最近 Sony 发布的产品并未采用 ZiBond,而是采用DBI技术(Direct Bond Interconnect),该技术支持互连材料在低温条件下直接键合于键合面。与铜热压缩等竞争技术相比,该键合技术连接间距更小,拥有成本更低。

    Ziptronix认为,相比硅通孔(TSV)堆叠技术,专利的混合键合技术有更好的使能性和成本效益。

3D SoC工艺流程如下所示:


 

 

还有谁在用ZiBond和DBI?

    除 Sony 外,Ziptronix 为 IO Semi(现称为 Silanna)、Tezzaron、Novati 和 IMEC 提供 ZiBond 技术许可;除 Sony 外,Ziptronix 还为 Tezzaron、Novati、IMEC 和 Raytheon 提供 DBI 技术许可。目前,Ziptronix正与其他公司研议图像传感器应用领域以及 DRAM 存储器、微型投影仪和 MEMS 等其他市场领域。

    此次与索尼的协议标志著针对大批量生产的Ziptronix直接键合专利将被持续的采用。那么,未来在3D IC制造中,直接键合工艺是否会超越TSV技术?

 

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