在一个周期内存在正电压和负电压两个阶段，在负电压段，中山真空电镀电源销售电源工作于靶材的溅射，正电压段，引入电子中和靶面累积的正电荷，并使表面清洁，裸露出金属表面。
加在靶材上的脉冲电压与一般磁控溅射相同!为400~500V,电源频率在10~350KHz，在保证稳定放电的前提下，应尽可能取较低的频率#由于等离子体中的电子相对离子具有更高的能动性，双脉冲磁控溅射电源因此正电压值只需要是负电压的10%~20%，就可以有效中和靶表面累积的正电荷。中山双脉冲磁控溅射电源供应占空比的选择在保证溅射时靶表面累积的电荷能在正电压阶段被xx中和的前提下，尽可能提高占空，以实现电源的{zd0}效率。
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