感想

                    ——参观中科院半导体所

xx，我们参观了中科院半导体所。作为物理系的学生，能有机会如此近距离的接触我国物理界最前沿的科学研究成果，我倍感荣幸，因此我特别珍惜此次集会，向中科院的老师请教了好多课堂以外的专业知识，了解了当今半导体领域研究方向。同时，我也被中科院半导体所里的科学工作者们严谨的科学态度所折服。

正式参观前，我们大概了解了一下中科院半导体所的历史及发展过程，以及半导体所取得的巨大科研成果。半导体研究所是1956年按照"12年科学发展远景规划"中"四项紧急措施"开始着手筹建的，是集半导体物理、材料、器件研究及其系统集成应用于一体的{gjj}半导体科学技术的综合性研究所，正式成立于1960年。

    建所以来，半导体所在我国半导体科技发展的各个历史阶段都曾做出过突出的贡献。研制出中国{dy}只锗晶体管，硅平面晶体管，固体组件；{dy}根锗单晶，硅单晶，砷化镓单晶；设计制造出{dy}台硅单晶炉，区熔炉……。直接为国家经济建设和发展作出了重要贡献。

    目前，所主要研究领域为：光电子及其集成技术 。体、薄膜、微结构半导体材料科学技术 。低维量子体系和量子工程、量子器件的基础研究 。半导体人工神经网络和特种微电子技术。

同时，我们瞻仰了黄昆雕像，了解到黄昆是我国伟大的半导体科学家，为我国半导体事业做出了巨大贡献，是我国半导体事业的伟大奠基人。

材料重点实验室，我们了解到实验室的研究方向，对半导体超薄层异质结构材料、半导体低维结构（量子点、量子线）材料、磁性半导体材料、纳米团簇材料、特种薄膜材料以及空间生长材料等的生长工艺、结构性能和光电性质有了初步了解。实验室主要研究领域有 GaAs基、InP基量子线、量子点的应变自组装生长及研究。.纳米半导体团簇及其高分子聚合物复合新型光功能、光显示材料研究。 量子器件（量子线晶体管、量子点激光器、单电子存储器）的研制及应用探索。空间半导体材料的生长、性质及地面模拟研究。GaAs/AlGaAs超晶格量子阱结构材料及调制掺杂结构材料的生长与研究。 GaAs基和InP基HEMT、P-HEMT、HBT结构材料研究。GaN蓝－绿光材料、LED器件及衬底材料的研制。 磁性半导体材料制备和性能研究。特种功能薄膜的制备及其性质研究。半导体材料物理研究。半导体材料测试新方法、新技术研究。实验室还承担了中科院院知识创新试点重大项目：半导体低维结构材料和器件应用。 项目研究方向为应变自组装量子点材料生长及器件应用研究，全固态激光器泵浦源及光纤耦合模块实用化研究(材料部分)，宽禁带III族氮化物低维结构、衬底及其器件应用等。

其中有一种激光分子束、离子束外延系统（LBE＋IBE）技术引起了我的兴趣，我们平时制作薄膜时都是一层一层的往上长，通俗讲就是竖着长，而这种侧向外延技术可以使薄膜横着生长。该设备主要用于薄膜材料的低温外延及多层结构生长、二元化合物薄材料的合成，以及亚稳态薄膜材料的制备。薄膜材料的低温外延及多层结构生长、二元化合物薄材料的合成，以及亚稳态薄膜材料的制备。由于被淀积离子经过质量分离（可实现同位素分离），因此可适用于从不易提纯的材料来制备薄膜。本设备也可用于有关低能离子与固体表面相互作用的基础研究。目前主要用于研制高K介电材料、柔性衬底材料以及磁性半导体材料等。

参观中我接触到一款项的镀膜机，我们学校也有一款镀膜机，和中科院的相比技术上我觉得还是有差距的。大家知道，镀膜的关键任物是抽真空。一般首先用机械泵，然后再用分子泵。其中抽真空是一件很费时的事。往往要抽几天才能达到要求。为此，很多实验室都在改进抽真空的方法，以提高实验效率。

我们学校物理系的镀膜机有两个真空室，一个大真空室，还有一个小真空室。实验时，现将样品放入小真空室。同时大小两个真空室同时开始抽真空，到达要求后间小真空室连同样品一起送入大真空室就可以试验了。中间若需替换样品，将小真空室连同样品一起取出，把所需样品替换好后再将小真空室抽真空，直到和大真空式气压一样是在将其放进大真空室就可以了。这样节省了不少时间。

这个方法会议前换一次样品就做一次抽真空相比节约了不少时间。但中途环样品时仍然有一些问题，比如频繁的换样品会不会导致大真空式气压下降，或者其密性降低等。中科院采用的是一次放入多个样品，从而避免了上述问题。但此种方法也有不足。若是多个样品仍无法满足要求，这就必须打开真空是换样品了，这个过程相当于再次抽真空，降低了实验效率。若将我校的方法和中科院的方法相结合，必将取得良好效果。

另一个给人印象深刻的实验室是半导体神经网络与高速电路实验室。实验室研究方向是（1）在半导体技术、计算机技术及人工智能技术的基础上研究模仿大脑活动过程的半导体神经网络及其应用（包括理论、模型、算法及其硬件实现和配套软件）。（2）在可同时输入模拟信号和数字信号的集成模糊逻辑电路（线性逻辑电路）基础上研究新结构的高速A/D转换器、D/A转换器等高速数模混合集成电路。

其中一项发明可以使别人的脸型，在各种状态下识别正确率在98%以上。比如面部信息残缺不全的或运动中的人该系统都能识别。但识别前要求对神经网络进行训练方可达到理想效果。

参观中还有好多重大发明堪称世界{yl}，均体现了我国科技事业的快速发展，再次不能一一列举。另外，所里的科研人员的科研精神尤为可贵，是做学问的人学习的榜样，更是我们这些大学生的榜样。从他们升上我深刻体会到科学的严谨与严肃，来不得半点虚假。