近年来随着液晶显示器与太阳能电池的发展，使得透明导电膜成为关键性材料。在传统材料中，金属、石墨等导电材料不透明，而透明材料玻璃和塑料又不导电。经大量研究试验发现，一些半导体金属氧化物掺杂后可制备透明又导电的材料。透明导电材料目前应用最主要的是铟锡氧化物（ITO），此外有铝锌氧化物（AZO）和掺锑氧化锡（ATO）等。

作为透明导电电极, ITO 薄膜有良好的透明性和导电性。ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、化学汽相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是磁控溅射法。将铟锡氧化物均匀而牢固地在玻璃或塑料膜上形成薄膜。与其它透明导电薄膜相比, ITO 薄膜除具有良好的透明性和导电性外，还具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。金属铟及其化合物在地球上没有相应的矿藏，铟是被称为稀散元素的成员之一。金属铟只能从冶炼锌铅等废渣中分离提取。电子产业的发展助长了ITO薄膜的使用，透明导电性ITO材料的用量一直逐年增长，造成铟的价格在近年来不断提高。.

.因此,如何降低透明导电膜材料成本，.开发具透光导电特性之非”铟”材料,或许是解决铟供给不足的方法之一。.这些因素促使发展新型透明导电薄膜技术与材料,成为近年来众多研究者所欲突破的目标。

掺锑氧化锡(ATO)薄膜是最早获得商业使用的薄膜之一,与其它的透明导电材料相比,ATO薄膜硬度高、热稳定性好，但透明性不够好。

 由于铝锌氧化物透明导电薄膜其价格较为低廉，且不具有毒性，因此在应用上具有相当之优势。因此AZO薄膜技术的发展也相当快。半导体金属氧化物氧化锌的电阻较高，将其掺杂铝、镓、铟等,使其导电特性提高，同时也增加其高温稳定性。AZO薄膜具有应用前景。但其综合性能还没有赶上ITO 薄膜。