n  特气的种类、性质及用途；

n  特气系统的供应流程及尾气处理；

n  特气防护用品，专用工具及垫片；

n  特气房间墙面地面、消防、排风、电源等设施的配套；

n  特气系统的侦测和监控系统；

n  突发事情的应急方案；

n  运行过程中的日常运行注意事项

特   气   种   类

     目前我们公司用的到特殊气体只要有SiH4、NH3、CF4这三种

     其中Sih4为易燃易爆有毒气体，NH3为有毒有腐蚀性气体，CF4为惰性气体

硅 烷 的 性 质

硅 烷 的 物 理 性 质

n  颜色                             无色气体

n  嗅觉                             厌恶的/刺激性的

n  分子量                          32.117g/mol

n  熔点                             -184.7oC

n  沸点                             -112oC

n  临界温度                      -3.4oC

n  临界压力                      48.43bar

n  气体密度                      1.342kg/m3

n  相对气体密度               1.2 (空气=1)

n  水溶性                          忽略不计

硅 烷 的 化 学 性 质

n  是一种可燃性气体，遇到空气就自然，有可能会爆炸。通常该气体自燃温度在40℃左右，该气体爆炸范围为1.37% (v/v)~96% (v/v)内，在这个范围内可能会引发燃烧爆炸

n  它也是一种有毒气体，能对人产生危害

氨 气 的 性 质

氨气的物理性质

n  颜色 无色气体和液体

n  嗅觉 有刺激性气味

n  分子量 17.031g/mol

n  熔点 -77.7oC

n  沸点 -33.4oC

n  临界温度 132.5oC

n  临界压力 112.8bar

n  气体密度 0.771kg/m3

n  相对气体密度 0.597 (空气=1)

n  水溶性 0.848% v/v (20oC)

氨气的化学性质

n  是一种腐蚀性液化可燃气体，温度在650℃以上，且在15% (v/v)~30.2% (v/v)内可能会引发爆炸

n  它也是一种有毒气体，能对人产生危害

CF4  的  性  质

   CF4的  物  理  性  质

n  颜色 无色

n  嗅觉 无嗅

n  分子量 88.005g/mol

n  熔点 -183.6oC

n  沸点 -128.1oC

n  临界温度 -45.7oC

n  临界压力 37.39bar

n  气体密度 3.645kg/m3

n  相对气体密度 3.039 (空气=1)

n  水溶性 0.002% （重量比） (25oC)

 CF4  的   化  学  性  质

n  比较稳定，常温下不分解，在1000℃以上会进行分解。

特  气  的  用  途

n  硅烷和氨气主要用于PECVD设备，作为制取减反射膜的反应气体

n  CF4主要用于等离子刻蚀机设备，它和氧气用做周边刻蚀的反应气体

特 气 系 统 供 应

     目前我们公司的硅烷氨气系统均采用了BSGS Y瓶（1×1）供应系统，可以满足四台PECVD电池生产线的生产需要

     CF4系统采用47L小钢瓶（1×1）供应系统，可以满足八台等离子刻蚀机的生产需要

          同时配备了监控系统和紧急切断功能

特 气 系 统 的 尾 气 处 理

n  硅烷BSGS尾气排气系统有两种：1.采用直排大气方式，持续氮气吹扫，高空安全排放；2.尾气管路接到硅烷燃烧塔处理塔中，在里面燃烧箱里面燃烧。

n  氨气BSGS尾气处理系统通常有两种：1.将尾气管路接至酸排风主管，在酸雾净化塔中处理；2.将尾气管路接到硅烷燃烧处理塔中，在里面通过喷淋处理。

特 气 防 护 用 品 及 专 用 工 具

n  在特气操作时，必须配备的常用防护用品如：防火服，安全鞋，安全帽等

n  在进行特气操作时，尤其是更换钢瓶时，为了xxx起见，必须使用专用工具-扭力扳手及垫片

特 气 房 间 的 墙 面 及 地 面

     通常易燃易爆特气房间位置选择通常离生产厂区或办公地点至少25m外处建设，四周墙面至少有三面为防爆墙面，一面为泄爆墙，顶部墙面为防爆面，其中泄爆墙面方向在好是面向比较空畅的地方；地面通常为不起火花的耐磨地面。

特 气 房 间 的 消 防

     通常情况下，特气间消防系统主要是消防喷淋及气柜喷淋，消防水管应单独直接从消防主管上，此消防喷淋系统应能够在消防主机上自动控制, 特气间还需要配置一些灭火器材

特 气 房 间 排 风

     特气房间要保持负压，需要不停地进行排风

特 气 间 的 电 源 及 电 线

     特气系统电源应该单独供应，同时配备UPS电源

     特气间电线套管，灯具开关，电控箱及摄像头均需防爆型的

特 气 系 统 侦 测 和 监 控 系 统

n  它是一套独立实时监控系统，能够远程实时显示各气体泄漏侦测点状态和设置各气体泄漏报警参数,同时可以与消防系统实现相关控制

n  此监控系统能与气体侦测器形成互锁：当实时接受气体泄漏报警信号给监控电脑时，可实现远程自动关断。

n  侦测点通常分布在特气间，PECVD区域；紧急切断开关设置在监控房，特气间及PECVD区域

特 气 突 发 情 况 的 应 急 方 案

n  当报警指示灯出现红灯亮加蜂鸣器响的情况下，需要{dy}时间按下紧急切断按钮，同时通过广播通知全车间人员迅速撤离厂区，在安全厂区外静等半小时，特气人员穿好防护用品，去监控室通过监控系统检查哪个环节出问题，然后去现场排除故障，等特气人员检查排除故障完毕后，确认没有危险了，车间人员才可进车间，同时针对这事故作出报告。

n  每次特气进场时，必须检查钢瓶口是否封装完好，如封装纸已被拆过，拒绝接受；

n  需要做全车间进行安全演习，以达到在紧急情况下，能够迅速有序地离开现场；

特 气 日 常 运 行 注 意 事 项

n  在特气运行过程中，相应的设施（电，排风等）必须正常工作，做好日常巡检工作；

n  保持特气间的清洁卫生，做好特气日常库存及更换钢瓶记录工作；

n  每次特气操作时，必须保证不能停气，而且必须两个人操作，必须穿好防护服等用品；

n  每次更换钢瓶时，必须严格按照标准操作规程操作；

n  特气间严禁吸烟和从事有火花的工作；