| 【中文篇名】 | 硅单晶棒、片标准定稿筹备会 |
| 【作者】 | 林敏敏; |
| 【文献出处】 | 上海金属.有色分册 , [英文刊名], 编辑部邮箱 1981年 01期 期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 会议; 半导体元件; 单晶棒; 标准草案; 集成电路; 参数指标; |
| 【摘要】 | <正> 四机部于1月13日至19日在北京召开了硅单晶棒、片标准定稿筹备会。来自全国四十多个单位的六十余名代表出席了会议,会上对用于半导体元件和集成电路的各种规格的硅单晶棒、片的常规参数指标开展了热烈的争论和充分的协商,修改提高了标准草案中 |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:SHHA.0.1981-01-005 |
| 【更新日期】 | 2006-08-10 |
| 【正文快照】 | 四机部于l月13日至19日在北京召开了硅单晶棒、片标准定稿筹备会。来自全国四十多个单位的六十余名代表出席了会议,会上对用于半导体元件和集成电路的各种规格的硅单晶棒、片的常规参数指标开展了热烈的争论和充分的协商,修改提高了标准草案中大部分指标。对于单晶棒的热处理规 |
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