罗茨是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年首先出现于德国，是为适应在10 ～ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。

2、分类：根据罗茨真空泵工作压力范围的不同，分为：

（1）、直排大气的低真空罗茨泵；

（2）、中真空罗茨泵 ( 机械增压泵 )；

（3）、高真空多级罗茨泵。

            国内用量最多的为中真空罗茨泵。

二、罗茨真空泵的特点：与其它油封式真空泵相比有以下特点：

1、在较宽的压力范围内有较大的抽速；

2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体 间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气　目前，国内真空行业使用的大多数机械都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
　　干式机械真空泵的应用主要有以下几个方面：一是低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；二是半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；三是在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；四是用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
　　在日本，半导体行业已全部用干式机械真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业４５％以上用干式机械真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。据统计，目前国内干式机械真空泵的应用还不足１％，国内半导体工业用的干式机械真空泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。随着全球半导体工业逐渐向国内转移，对干式机械真空泵的需求将呈增长的趋势对真空系统的污染；

4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

5、压缩比较低，对氢气抽气效果差；

6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。