硅整流二极管管芯的机械切割法——介绍一种提高硅片利用率的办法
| 【中文篇名】 | 硅整流二极管管芯的机械切割法——介绍一种提高硅片利用率的办法 |
| 【作者】 | 程璟; 顾永兴; 陈静; |
| 【作者单位】 | 南京无线电元件十七厂; |
| 【文献出处】 | 半导体技术 , Semiconductor Technology, 编辑部邮箱 1984年 05期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 硅整流二极管; 机械切割; 热浸镀; 管芯; 高硅; 黑蜡; |
| 【摘要】 | <正>在硅台面整流二极管的生产中,常常用点黑蜡、长时间腐蚀的办法把管芯一个个分割开,同时形成合适的台面.这种工艺对硅单晶的利用率和生产效率都很低.我们总结了高频高压硅堆的生产工艺,提出了热浸镀铅锡-机械切割法分割管芯的工艺.这大大提高了硅单晶的利用率和生产效率,降低了成本,取得了一定的经济效益. |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:BDTJ.0.1984-05-007 |
| 【正文快照】 | 在硅台面整流二极管的生产中,常常用点 黑。黑蜡、长时间腐蚀的办法把管芯一个个分割 于——————一—一1>Sf厂上 厂\。开,同时形成合适的台面。这种工艺对硅单晶——一7下丁二了一; 一二—,、———。一。。—。。—。—___一g湖沃。咽b方刁戊O,《。,的利用率和生产效率都很 |
