特气介绍

一、特种气体

     目前我们公司用的到特殊气体只要有SiH4、NH3、CF4这三种

     其中SiH4为易燃易爆有毒气体，NH3为有毒有腐蚀性气体，CF4为惰性气体

1、硅烷气体：

硅烷的物理、化学性质

硅烷是一种无色气体有厌恶的/刺激性的可燃性气体，遇到空气就自然，有可能会爆炸。通常该气体自燃温度在40℃左右，该气体爆炸范围为1.37% (v/v)~96% (v/v)内，它也是一种有毒气体，能对人产生危害。

2、氨气气体

氨气的物理、化学性质

氨气是一种无色有刺激性、腐蚀性液化可燃气体，温度在650℃以上，该气体爆炸极限在15% (v/v)~30.2% (v/v)内，它也是一种有毒气体，能对人产生危害

3、CF4的性质

CF4的物理、化学性质

CF4是一种无色、无嗅比较稳定，常温下不分解，在1000℃以上会进行分解。

二、特气的用途：

1、硅烷和氨气主要用于PECVD设备，作为制取减反射膜的反应气体

2、CF4主要用于等离子刻蚀机设备，它和氧气用做周边刻蚀的反应气体

三、特气系统供应：

   目前我们公司的硅烷、氨气系统均采用了BSGS Y瓶（1×1）供应系统，可以满足四台PECVD电池生产线的生产需要

   CF4系统采用47L小钢瓶（1×1）供应系统，可以满足八台等离子刻蚀机的生产需要同时配备了监控系统和紧急切断功能

四、特气系统的尾气处理

1、硅烷BSGS尾气排气系统有两种：1）采用直排大气方式，持续氮气吹扫，高空安全排放；2）尾气管路接到硅烷燃烧塔处理塔中，在里面燃烧箱里面燃烧。

2、氨气BSGS尾气处理系统通常有两种：1）将尾气管路接至酸排风主管，在酸雾净化塔中处理；2）将尾气管路接到硅烷燃烧处理塔中，在里面通过喷淋处理。

氮(氧)气系统

1．设计参数：  氮气（低温液体-196℃）    99.999%      5N

   熔点：-210℃

   密度：1.160kg/m3

   通常用于保护性气体或气动阀

   管路材质  sus304 禁油管

2．储罐：

储罐容积：3 0m3

一般储液容积：24m3

{zd1}储液容积：6m3

压力：储罐  6.5～8bar

      阀后  7bar

工作原理：通过储罐增压器增压，将液体流向汽化器，变成气态，达到理想中的状态

3．开机/关机：增压器进出口阀，进汽化器阀

4．规格：500m3/h（{zd0}汽化量）

5．调压阀组：

液氮：氮气     1:650

体积：重量     1:0.808

废气处理系统

1、废气处理系统种类及处理方法

目前我们公司太阳能生产线生产所需要处理的废气主要有酸碱排气、有机物排气、硅烷氨气排气及热排气，需要进行处理后方可排入大气中。这些废气主要通过室外的废气处理塔处理，然后高空排放。

酸雾净化塔

酸雾净化塔主要处理车间生产的酸碱废气（HF,HCL,NaOH等），通过风机将废气抽进净化塔内，利用酸碱易容于水的特性，进行水喷淋处理后，25米高空排放。

   塔内的填料主要是让酸碱气和水充分接触，使处理效果更好。

   水泵及喷头及管路组成塔内喷淋系统

   因此塔废液排到废水处理站集中处理，所以废液需要定期更换

有机净化处理塔                                                              

?    此塔主要处理车间生产的有机废气，利用活性炭吸附性，通过活性炭滤筒处理后，25米高空排放。

?    因此滤筒不可重复利用，需要定期更换，以保车间有机废气正常排放。

硅烷燃烧处理塔

?    此塔主要处理车间PECVD设备生产废气（硅烷和氨气），利用硅烷遇空气就会燃烧特性，先通过在应急燃烧筒及塔内通空气进行处理，利用氨气特易容于水特性，然后通过水喷淋处理后，25米高空排放。

?    因废液需要排放到废水处理站集中处理，需要定期更换。

?    硅烷燃烧后的粉尘需要定期清洁。

热排气设备

      此设备主要排出车间局部设备上所产生的热气，通过风机抽出室外

2、注意事项

   因这些系统的塔高空排放，在高空中设立了避雷针，因此夏天打雷时，不可在塔附近作业

   在进行设备检修时，必须等设备xx停止了才可检修

   在抽风量很大设备运转时检修，必须在保证检修设备阀门等关闭，备用设备开启正常情况下，必须有两人在场时才可检修。

空调系统

1．设计参数:  车间温度 20～26℃   湿度 45％～70％

              洁净度 为十万级和万级

              车间压差 10-15Pa

              办公区温度18～28℃

2.风系统说明:

整个车间空调分为两部分,办公区为舒适性空调,采用风机盘管加新风,2/3层办公区新风由吊装式新风机组统一处理.

生产车间为无尘车间空调,主要采用新风空调加吊装式小循环空调系统,又两台组合式空调机组和24台小循环空调构成

3 车间换气及洁净分区

  车间扩散间为万级区域,换气次数为20-30次/时

  除扩散间外区域为十万级,换气次数为15-20次/时

4 车间冷热源

  依据:夏季生产厂房冷负荷约为900w/m2,办公区124w/m2

       冬季生产厂房冷负荷约为450w/m2,办公区85w/m2

此厂房冷热量:

夏季中央空调耗冷量约为2100kw

冬季中央空调耗冷量约为350kw,耗热量为1100kw

冬季加湿量为1900kg/h,所有空调冷源由动力站溴化锂机组提供7-12℃冷冻水,热源为动力站板式换热器提供50-60℃热水,加湿源为减压后0.2mp的饱和蒸汽,

5 车间无尘室正负压,温度和洁净度

主要有车间新风机组送风和废气系统排气控制车间正负压及洁净度

洁净度:主要通过空调新风机组层层过滤,经过高效来达到万级和十万级洁净度

温度:由新风机组初度控制,然后经过小循环风机进一步控制,来达到车间温度要求

湿度:主要通过新风机组进行加湿或xx,来达到车间要求。

纯水系统

目前我们公司所产的纯水的电阻率为18兆欧,产水量为50立方/时,满足车间生产工艺要求,纯水主要用于车间制绒机、清洗机、炉管清洗和工艺冷却水补水。

纯水系统简介

本系统采用“盘式过滤器        超滤         一级反渗透        二级反渗透 

                     CEDI           精处理  ”

的超纯水工艺流程。

       一、系统说明

       系统由原水箱、原水泵、盘式过滤器 、加药系统、超滤器、超滤水

箱、高压泵1、一级反渗透机组、RO中间水箱、PH调节系统、高压泵2、

二级反渗透及清洗装置、淡水箱、淡水泵、CDI系统、纯水箱、机组纯水泵、

抛光树脂、紫外线xx器、0.22um过滤器，辅控制系统，

监测系统及管道阀门系统组成。

预处理系统

1.   原水经过原水泵加压，经50um盘式过滤器 去除原水中固体颗粒、胶体等浊度性物质再加入阻垢剂经超滤进入过滤水箱，为原水进入反渗透

系统作准备。

2.   盘式过滤器通过相互压紧的表面刻有沟纹的塑料盘片实现过滤、反

洗、自动切换循环工艺过程。

3.   超滤作为反渗透系统的前处理，去除胶体等微小固体颗粒。

二级反渗透系统

1、段由高压泵1、一级反渗透系统、RO中间水箱、PH调节系统、高

压泵2、二级反渗透系统等组成。

2、滤水经过高压泵1加压后，进入一级反渗透系统，在高压的作下

经反渗透膜的作用下，水中绝大部分离子、xx、有机物及颗粒物质得

以去除。一级反渗透淡水进入中间水箱。可脱盐95%以上。然而反渗透

膜不能去除CO2，可通过PH调节至碱性，这样水中CO2转变为CO32-被反

渗透除去。当PH=8.4时，去除CO2的效果{zh0}。

CDI系统

1. 本段由淡水泵、 CDI系统、纯水箱及氮封水箱等组成。

2. CDI是 美国IONPURE公司生产的浓水不需加盐的EDI。EDI技术是

离子交换和电渗析技术集合的产物， EDI主要通过外加电场的作用下水

中离子通过多组交替排列的阴阳离子交换膜发生选择性离子迁移来进行

离子交换，离子交换树脂界面水发生极化产生的H+和OH-对交换树脂进

行电化学再生。 EDI操作简便，污染小，目的是进一步除盐。

精处理系统

l  1.   本段由纯水泵、抛光树脂、紫外线xx器和0.22um过滤器组成。

l  2.   通过抛光树脂来进一步去除水中的离子。

l  3.   同时快速可靠的消灭水中xx、病毒和其他微生物。

终端测试

经过以上工序处理，基本可以达到18兆欧纯水，末端还配置了电子式流量计，以便将来统计产水量及用水量