探针台主要应用于半导体行业的测试。
世界上主要xxxx有： 台湾EVERBEING，美国Cascade，德国 Karl SuSS。

探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动
从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台，
EVERBEING提供以上所有种类分析探针台

台湾EVERBEING分析探针台 BD-6 

EVERBEING BD-6  总体规格特点
重量：50KG（含显微镜）。
尺寸：590mm宽*500mm长*700mm高（含显微镜）。
创见性人机学设计，便于操作工程师长时间舒适操作的操作。

EVERBEING BD-6  显微镜操控规格
在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。
显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1micron。
显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮发便xx调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1micron。

EVERBEING BD-6  台面规格
探针台台面平整度：5µm。
探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。
探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1micron。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重定位。

EVERBEING BD-6  卡盘（载物台）规格
6" 卡盘，卡盘平整度：5µm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径 250微米（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，{zd0}能够吸住尺寸为6"X6"。
卡盘可30度旋转，方便点测时样品在X-Y轴向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮）。
卡盘座有小摇杆，提起90度后，可以使卡盘快速线性上升6mm，在做wafer点测时方便快速移动点测位置，同时做普通die或者decap后芯片点测时，方便快速更换样品。
卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1微米，为方便点测的稳定性，带有锁住功能如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。

EVERBEING BD-6  可升级空间
可升级做高温点测。
可以升级配置探针卡的夹具，将探针卡通过夹具放置在探针台上，进行wafer的测试。
可升级进行射频点测
可升级进行低电流点测和低电容点测
可升级进行大电流点测
可升级探针台平台升降螺旋测微计
可升级卡盘水平移动光学尺
可升级进行显微镜Z轴方向气动定位
可升级电动系统，操控摇杆控制载物台在X-Y平面移动，控制器可以连接PC，通过程序控制步进精度与步进速率。电动控制显微镜调焦。