1.0主题内容

　 本标准规定了静电放电敏感电子元器件在研制、生产和检验中受静电损害的防护技术要求。

2.0适用范围

　 本标准适用于静电电压小于4000V静电放电敏感电子元器件制造过程中检验、装配、试验、包装、交付、验收、存储时的静电放电保护。

3.0术语

3.1静电

　 静电就是物体所带相对静止不动的电荷。

3.2静电放电

　 具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电感应引起的物体间的静电电荷转移。

3.3静电感应

　 当带静电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。

3.4 ESD保护材料

　 具备下列特征的材料：

     1）防止产生摩擦起电

　 2）免受静电场的影响

      3）防止与带电人体或与带电物体接触而产生直接放电

3.5泄漏

　 将静电荷安全泄放到大地。

3.6中和

   利用异性离子使静电消失。

3.7接地

　 电气连接到能提供或接受大量电荷物体上。

3.8 ESD保护区

     用必要的ESD防护材料和设备建立和装备起来的，有明显标志的区域能够防护ESD损害。

3.9操作

　 在电子元器件制造过程中人或机器、工装夹具/置具直接触及产品的动作。

3.10 ESD安全操作系统

　 为对ESD进行防护性操作所需配置的设施和器具硬件体系和ESD控制程序等软件体系和总称。

3.11 ESD损伤

　 由静电放电造成的电子元器件性能退化或功能失效。

3.12静电放电敏感产品

　  对ESD损害敏感的零部件或组件。

3.13摩擦起电效应

　　由摩擦两个物体产生静电电荷的效应。

3.14 ESD防护包装

　　用ESD防护材料使ESD产品受ESD损害的可能减至最小的包装。

3.15防静电周转容器

　　为静电敏感组件或产品提供静电安全存储以及制造工序中搬运的防静电容器。

3.16 ESD

　　静电放电敏感。

4.0 ESD造成电子元器件失效及对ESD敏感性分类

   1）热二次击穿

   2）金属镀层融熔

   3）介质击穿

   4）气弧放电

   5）表面击穿　

   6）体击穿

5.0防静电操作系统

5.1防静电工作区的设计原则

   1）抑制静电荷的积累和静电压产生。

   2）安全、迅速、有效地xx已产生的静电荷。

   3）防静电工作区应按电子元器件静电放电灵敏度确立保护程度。无特殊规定情况下，一般要求产生静电小于100V。

5.2地面

　 采用ESD保护材料构成的地面，如：抗静电活动地板或在普通地面上铺设防静电地垫。亦可采用经过特殊处理的水磨石地面，敷设地线网。

5.3墙壁面料

   应采用ESD保护材料。

5.4工位

　 工作台面、工作凳面均应采用ESD保护材料。

5.5人体

　 防静电工作区的操作人员，必须穿着防静电工作服、防静电工作鞋、配带防静电腕带（腕带接地系统电阻的大小应考虑到人身安全，一般取1MΩ-10 MΩ。

5.6接地

　 ESD保护区要安全接地，应做到以下几点：

     1）防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，地电阻小于4Ω，防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电时，其地线可以作为防静电地线。

　 2）工作台面、地板垫、坐凳和其它导静电的ESD保护措施均应通过限流电阻接地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接，工作台不可相互串联接地。

　 3）防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠，并具有一定载流能力，限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限阻值取1 MΩ。

5.7包装　　

     静电敏感电子元器件应采用相对应的保护性包装。

5.8运输、存储

      转移静电敏感电子元器件必须放在防静电容器内，并采用防静电运输工具。库房满足防静电操作系统要求，存储静电敏感器电子元器件须放在防静电容器内。存储中要远离强静电、强电磁场或放射场的位置。

6.0防静电操作-管理要求

6.1操作静电敏感电子元器件人员应符合5.5的规定。

6.2操作静电放电敏感电子元器件须在防静电工作区内进行，在防静电工作区以外操作静电放电敏感电子元器件必须先使人体接地或保持不接触元器件，以避免形成放电回路火花放电。

6.3传递静电敏感电子元器件应符合5.7的规定。

6.4定期检查防静电保护区，保证防静电操作系统有效。

6.5对静电敏感电子元器件的操作人员须进行ESD知识和防静电技术要求的培训。