| 【中文篇名】 | 甲基异丙烯基酮在烷烴中的聚合反应及以其聚合物为基础的远紫外抗蚀剂 |
| 【英文篇名】 | POLYMERIZATION OF METHYL ISOPROPENYL KETONE IN HYDROCARBONS AND DEEP UV RESIST MATERIAL ON THE BASIS OF ITS POLYMER |
| 【作者】 | 徐僖; 毛临渊; 陈扬中; |
| 【英文作者】 | Xu Xi; Mao Lingyuan and Chen Yungzhong（Department of polymer Science & Materials; Chengdu University of Science & Technology Chengdu）; |
| 【作者单位】 | 成都科学技术大学高分子材料科学系; |
| 【文献出处】 | 高等学校化学学报 , Chemical Research In Chinese Universities, 编辑部邮箱 1982年 S1期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 远紫外; 聚合物分子量; 抗蚀剂; 聚合反应; 转化率; PMIP; 沉淀聚合; 异丙烯基; |
| 【摘要】 | 采用AIBN引发剂,在C_6-C_(12)烷烃中研究了甲基异丙烯基酮(MIPK)的聚合反应规律,结果表明MIPK的聚合反应速率,随着烷烃分子中碳原子数的增加而增加,但对聚合物的无显著影响。测定了PMIPK及增敏后聚合体的UV光谱、热稳定性以及光降解前和用氢灯辐照40、160分钟后的IR谱图。表明除了聚合物主链断裂之外,还有由于降解而产生的单体。用含有不同增敏剂的PMIPK制成了可以与不同波长光源的光谱主峰相匹配的远紫外抗蚀剂。以增敏的PMIPK涂在镀铬玻璃基片上,通过软接触分辨率板作远紫外曝光、显影、化学蚀刻,得到0.4μ的清晰线条。 |
| 【英文摘要】 | The rules of the polymerization process of MIPK using AIBN as initiator in the C6-C12 hydrocarbons were studied. The results show that the rate of polymerization increases with the number of carbon atom in hydrocarbon, while Mη of the polymer is not significantly affected whatever hydrocarbon is used. The UV spectral sensitivity, thermal stability of the PMIPK and the sensitized PMIPK, as well as the IR spectra of PMIPK before photodegradation and after exposure to hydrogen lamp for 40 min and for 160 min, … |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:GDXH.0.1982-S1-020 |
| 【正文快照】 | 早在1909年G.Merling等即合成了甲基异丙烯基酮(MIPK)及其聚合物(PM工PK),此后许多工作者对PMIPK的合成方法、结构和降解机理曾又作了大量工作〔1一4〕.由于耐紫外老化性和热稳定性差,一直未能成为一种有用的商品材料. 1975年B.J.Li吸〔5〕采用远紫外光源进行光刻,得到亚微米级 |
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