| 【中文篇名】 | 膜厚监控石英晶体振荡器 |
| 【英文篇名】 | A quartz oscillation monitor for control of film thicknees |
| 【作者】 | 尹建华; |
| 【英文作者】 | Yin Jian-hua （Institute of Modern Physics; Academia; Sinica）; |
| 【作者单位】 | 中国科学院兰州近代物理研究所; |
| 【文献出处】 | 核技术 , Nuclear Techniques, 编辑部邮箱 1981年 01期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 数字频率计; 膜厚监控; 真空室; 薄膜厚度; 石英晶体振荡器; 接受器; |
| 【摘要】 | 在核物理制靶技术中,采用真空蒸发制备有衬靶和自支撑靶膜较为普遍。为了在蒸发过程中测量靶膜的生长情况和控制薄膜厚度,我们自制了膜厚监控石英晶体振荡器。 这一设备比较简单,使用方便。根据我们的实际情况,分别得到六种元素的频率与厚度的关系曲线。从而改善了以前采用几何方法估计蒸发材料的不准确性。 |
| 【英文摘要】 | It is sometimes necessary to monitor and control the thicknees of a film during the process of vacuum evaporation. This paper describes a quartz oscillator for this purpose. It is based on the frequency variation caused by the change in thickness of crystal surface. The calibrations for frequency variation per unit thicknees have been performed using six elements of Pb, Bi, Cu, Au, Al, and Ag. |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:HJSU.0.1981-01-008 |
| 【正文快照】 | 一、原理和装置1)原理石英晶体表面沉积物厚度的改变使晶体的振荡频率也有一个相应的改变。固有振荡频率了的少改变(刁j)与晶体表面沉积的薄膜厚度T成正比,即 方~了,·内·T/N。式丁}JN·—频率常数(1670kC一mm),p—石英晶体的密度,pM—蒸发材料的密度,少—膜厚. 根据这一关系, |
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