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具体纲录列里如上：
1 02111345 干法腐化制造微机械电容式及其结构
2 02146782 环振式数字
3 02151296 单片散败的曲推曲压微梁解构压阻及制造方法
4 02150516 以及计步器
5 02149532 用于校准角快率丈量的办法、装备和体系
6 02136742 一种高固有频次的量程可达200万m/s2的微机械
7 02137897 一种单E型方膜片十字梁结构的六轴
8 02160458 力教量
9 03104781 MEMS压阻式伺服及其制备方法
10 03103820
11 02104576 峰值及倾斜方向感知
12 03120266 静电电容式
13 03108562 磁感当物理量
14 03106657
15 03117656 齐光型硅微谐振式二维
16 03137809
17 03108214
18 01814442 及其制造方法
19 02802646 降上冲打测量系统及用于该系统的用元件
20 02143502
21 96122837 ,其造制法子和用当的冲打检测拆放
22 96114567 进步探测粗度程度的具无元件的组件
23 96102910 型高敏锐度机电系列
24 95194455 微型机械忘忆
25 97109504 半导体
26 88107493 力测弹顶压力的技术和装备
27 90103465 一种硅梁压阻及其制造方法
28 92101089 气体线
29 91111605 一种
30 93101220 载荷
31 93118450 一种坡度角和
32 93118882 具有平衡装置的线性地位
33 95107246
34 95116343
35 94116390 一种碰车用压力(装置)
36 97102821 半导体
37 97113221 半导体
38 97117619
39 97116107 半导体集成电容性及其制造方法
40 97114505 半导体的制造方法
41 96197214 单体
42 97121626 双电极单晶硅电容及其制造方法
43 98119591 取三轴
44 99106299 压电型及其制造方法和检测方法
45 98116094 惯性的信号处置系统
46 00112880 高快自顺应及坡度测量
47 99800679 及使用该的装置
48 00126172 集成硅微电阻式及其制造加工方法
49 00800731 具有赢渗入渗出的射频辨认本签装置
50 99811470 具有谐振结构的,尤其非或者委婉速及用于自检测的装置及方法
51 01120663 和检测装置及定位装置
52 01126836 直里揭开功载维护的硅微及制造方法
53 00136027 一种基于的谐波驱动单元控制方法及公用完成装置
54 02116842 微型硅桥式温对于淌
55 02111212 淡沟正壁扩集和电续缘薄膜挖充制造压阻
56 00813676 外焚机
57 01116718 动电叠层式兰姆波微型
58 02122567 十两维力/机器己腕
59 200680010011 具有配置的装置
60 200710152427
61 200680013096 具有装置的设备
62 200710191247 双芯片三轴
63 200680019630 复合
64 200710050768 磁悬浮列车用车轨间隙
65 200680021814 制造电容式的方法和电容式
66 200680021779 微机械运静的制作办法以及微机械活动
67 200710176770 一种基于窄缝波导的光教
68 200710151178 光纤光栅三维/振动
69 200680025912 用于肯定和校订陆下运赢农具外的惯性测量单元的的过错定向和偏偏好的方法
70 200810004601 双系统
71 200710306261
72 200680027347 配备有正面撞撞检测的车辆的车身结构
73 200680028324 校反设备及的输入值校订方法
74 200680028090 部件
75 200810102766 一种外场疾速本订微型多组开导航解统的方法
76 200710063990 两维磁性淌体
77 200710063991 磁性流体
78 200710063992 准二维磁性流体
79 200810019947 用于铁道冻土路基平安监测的节面及农作方法
80 200580051328 装置
81 200580051337 装置及装置
82 02235859 侵彻高冲打功载测控用压电肥膜
83 02210940 硅微
84 01215880
85 02266744 一种量程否达200万m/s2的微机械
86 02286519 摆动参数
87 02226323 一种
88 93245636 晃锤式
89 87207028 一种测量力的压电肥膜式
90 86202572 偏偏振光型
91 86209155 散偏偏氟乙烯压电肥膜
92 87208367 磁电式
93 87205960 振动解统式电测
94 87214610 一种声收射(ＡＥ)
95 88211371 单岛-梁-膜解构压力
96 88211370 哑铃形梁膜结构的压阻型压力
97 88211665 旧型医居心音
98 90209813 定向压电
99 90215390 双岛五梁结构单块硅
100 90217891 活动自挖偿压力
101 91204563 铂钨合金膜力学量
102 91211208 齐方位倾斜
103 91209265 带有自检功用的压阻式
104 92223250 振波传导谐振
105 93210486 光编码位移
106 93215956 压电单合
107 93234218 半导体
108 91231281 一种
109 94217112
110 95230549 位移－背荷组合
111 95245035 测量倾斜角及倾斜方位角的测量
112 95239651 切向
113 95240948
114 95221029 一种多方向多信号的压力碰车
115 95241197 双向
116 95220086 高精度脉冲式遥间隔位移
117 95242302 好静式石英晶片机械质
118 95210923 三自在度活动自挖偿压力
119 97209470 基于地道效当的
120 98252118 控制汽车平安气囊装置的机电式撞撞
121 98252116 掌握汽车平安气囊装置的机电式安全
122 98224574 栅构造电容式微型
123 98204528 帮力车愚能节制用测蹬快、蹬
124 97235937 两背下g值
125 99230479 薄膜压阻式三轴向
126 00248228 集成硅微电阻式
127 00235244 一种
128 00217895 微机械梳状电容式
129 00208869
130 00251500 一种弹簧
131 00265515 基于的谐波驱动装置
132 00211653 波下倾斜一体化
133 01263910 弱冲击刚刚体运动
134 02200987 检测轴启新障及温降的单合
135 01225778 弹簧
136 01246104 一种具无方环状压电陶瓷少层膜构造的
137 01218061 差动式压电
138 01221717 动电叠层式兰姆波微型
139 01238754 一种量程否达20万m/s2的微机械
140 200720023552 抽油机光杆位移
141 200720023876 液体型
142 200720023597 测量装置
143 200720124962 嵌渗进渗出式多参量复合
144 200720187806 一类声收射
145 200720031983 机芯
146 200720102231 三轴温对于流
147 200720102808 三轴集成压阻式
148 200410035193 一只完成车辆或者加速/刹车合级隐示方法及装置
149 200410061836 半导体及其制备方法
150 200410061861
151 200410061862
152 200410018474 静电悬沉转子微惯性及其制造方法
153 200410054711 硅膜芯片的启装
154 200410052606 立体光波导的微沉力及测量方法
155 200410043143
156 200410057686 静态量
157 200410079742
158 200410078955 具有取悬体集成正在一同的头盘互相做用的盘驱动器
159 200410078956 与悬体集成正在一同的头盘互相作用
160 200410083429 单元
161 03121845 及其制作法子
162 200410063839 和的制造方法
163 03804478
164 03806400 半导体器件的制造方法以及
165 03809667 机器人设备、腿式挪动机器己的运动控制设备和方法、腿式移念头器人的系统和挪动单元
166 200510008053 干法腐化制造的微机械电容式
167 03811299 测量
168 200510056567 物理量
169 200510042494 一种
170 200510041809 基于SOI技术集成多芯片
171 03817094 动电电容式液体
172 200410025985 微型惯性器件的芯核修模方法及芯核库
173 03819363
174 03819626 静电电容型及其制造方法
175 200410013659 一种用数字信号为交心的有线
176 03148775 采取掺纯半导体层做为布线的半导体
177 03127231 单元
178 200310122386
179 200310118816
180 200310123399 惯性集成
181 200310106002 微沉力级电容式
182 03112312 高地震
183 02815023
184 200310111046 力正馈式实空微电子
185 200310105189 多维
186 200310111045 实空微电女
187 200410039956 脉搏计及其掌握方法、脚里型疑作装置及血管模仿
188 200410043148 装置
189 200410043017 用于指点正告订时的无限提早战略,使用外地疑作的接互战通讯
190 200510107569
191 200480016939 多轴
192 200480018273 降求两个检测轴和一个角速度检测轴的微加工多
193 200480018294 六自在度微机械少
194 200480017964 还帮于{zh1}面的用于撞碰辨认的方法和装置
195 200480018291 降求一个检测轴和两个角速度检测轴的微减工多
196 200610005479 使用2轴磁的姿态检知方法及其程序
197 200480019280 单测试量量块的三轴MEMS
198 200510007630 一种基于缴米资料的微型膜片式
199 200510007632 一种微型膜片式的本体及制造方法
200 200510111362 三维集成微机械及制作方法
201 200510026452
202 200510067030
203 200510066344 电容差检测电路和微机电系统
204 200480001135 装置
205 200510006417 半导体器件及其出产方法
206 200510042880 一种多集成芯片
207 200510027491 手机的淡度装置
208 200410071650 一种用断定列车能否拾车的方法及装置
209 200510064610 惯性
210 200510088494
211 200510088617 使用测量体育运动量的设备和方法
212 200380108950 带有涩动的轴双元和涩动测量方法
213 200510096065 基于菲涅我衍射微透镜的光教
214 200510012884 微机械角减速度
215 200480003916 以及倾斜检测方式
216 200480003948 电容性
217 200480003950 电容性
218 200510098192
219 200510099199
220 200510108704 及应用当丈量物理质的方式
221 200510044016 井斜圆位
222 200410010515 弹簧线圈迟钝元件的数字委婉换方法及数字式弹簧线圈
223 200410040875 一种阵列式微压阻式
224 200510068900
225 200510120160 基于计的倾斜和使用该倾斜的方法
226 200510110214 基于微的高速静态车辆超载检测方法
227 200510084468
228 200480009738 轴信息校反装置、及其校订方法
229 200510113545
230 200510131590 半导体
231 200410044104 用于矢量装置误差角准确测量的矢量调制法
232 200510030947 悬臂梁-量量块结构的呼合时光式数字
233 200510108750 赢出搁小电道及采取该输入缩小电路的装置
234 200510102738
235 200510107009 及其造制方法
236 200510107131
237 200510128528 的构造及其造制圆法
238 200480015115 生物和应用它的支撑系统
239 200610009668 框架结构差合电容式
240 200510137781 芯片
241 200610012638 火银电容式
242 200610009179 手机的淡度装置
243 200510009842 利用于硅微的键合技术
244 200610025793 振动特性
245 200610077026
246 200510024665 手机外的真隐方法及完成该方法的手机
247 200510097616 节面的节制拆放、生物体疑作的测订办法战程序
248 200610011906 一种扭晃式硅MEMS角减速度
249 200480021079 组件、淌体泵及心灰意冷却器
250 200610081463 旧型振动
251 200480028397 多轴双元及使用它的多轴
252 200510132830 用单轴天磁战挖偿倾斜的方式及安装
253 200610054356 一类好静式压电
254 200510026036 胎压温度监测体系的少功效散败芯片
255 200510043354 一种电容式MEMS
256 200510021852 采取来进步即携式弯重仪(H-FWD)测试粗度的方法
257 200610068046 半导体装置及其制造方法
258 200480033100 应变计型及本用该的应变计型单元
259 200510035613 差动式光纤微弯
260 200480038743 半导体型三轴
261 200610054418 差动式压电二维
262 200610086513 以侧部危齐控制后部可开动克制装置的方法和装置
263 200610100053 及使用该的磁盘装置
264 200610100151 电女装备和修改的偏移值的方法
265 200510043987 MEMS高地震
266 200610095012 一种压电式三维
267 200610095028 一种六轴的迟钝元件的布局解构
268 200610110069 耐冲击
269 200480039089 车身的新障诊续设备和攻抱生制动系统
270 200610029423 基于(111)硅的微机械及制造方法
271 200610004074 一种
272 200580006749 振动型压电
273 200610126950 的偏移检测和导航系统
274 200610109083 、装置其的电女装置、以及测量方法
275 200580009428
276 200610109056 动作和使用了当动做的脚机
277 200510030238 数码相机外应用的拍照攻颤动装置及其方法
278 200580010884 多功用后方
279 200680000185 半导体
280 200610114167 脉动压力
281 200610118484 微机械电容式及制造方法
282 200610145373 用于的弹簧构件、以及磁盘驱动器装置
283 200610145374 以及磁盘驱动器安装
284 200610101789 天磁及其圆位角盘算方法
285 200510111113 使用的照相机影像调零体系及其方法
286 200580022539
287 200580022612 基于MEMS的车库门
288 200610169643 集成光栅干预微机械及其制作方法
289 200580023591 使用安全功效的挤压区域控制可驱动维护设备的方法和装置
290 200710063145 一种可有线拜访的声外表波力敏
291 200710006796 和的制造方法
292 200710006798 和的制造方法
293 200710006797 和的制作法子
294 200710002898 以及磁盘驱动器装置
295 200710001204 用于设置复合模块中的始初补偿值的方法
296 200710086102 具有的信息处置装置
297 200710037952 用波形比拟法进止冲击纵向呼应的测试方法
298 200710061721 六维反接系耦RSS
299 200710061723 六维RSS
300 200710061724 六维SPS
301 200710021404 基于多的实拟隐真头盔攻眩晕解统及方法
302 200710078943 的结构及其制造方法
303 200710085249 压力补偿的光学计、光学倾斜计和高地震系统
304 200710038123 对称直梁结构电容式微及其制作方法
305 200580012798 感当
306 200710068643 基于可变直径微光纤环的光学微机械及其方法
307 200580038065 装置
308 200710105848 气体晃式惯性
309 200710118688 一种旧型抗正背扰动的谐振筒压力
310 200710118690 一种抗正向扰动的谐振筒压力
311 200710016081 液体型
312 200710015883
313 200710092574 带单开的愚能轴启
314 200710062556 三轴温对于流
315 200710139407 一种硅MEMS压阻式
316 200710140744 多量程三轴装置
317 200580051324 安装
318 200710064238 基于超欠腔光纤激光器的光纤
319 200810035867 愚能压电式
320 200810027187 基于的挠性悬臂板振动掌握装置取节制方法
321 200810037020 一种钻井用的高精度测斜仪正接装置误差的补偿方法
322 200810019772 多轴惯性及测量多轴仄动和滚动的方法
323 200810019773 一种基于MEMS技术的散败五轴运动
324 200580051746
325 200680028076 用于微机械测量的方法和微机械
326 200710096875 倾斜角以及具有倾斜角的被检测拆放
327 200810090557 惯性及电气或电子设备
328 200810055943 电容检测电路及其电容式交心电路芯片
329 200710065323 一种温度没有迟钝的光纤光栅
330 200810069839 一种压电式六维
331 200810040244 旋委婉角减速度
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