因此,压缩机的润滑油泄漏分为密封件老化泄漏和安全阀打开泄漏。这两种情况都是不能xx避免的。而低温泵系统通常是放在洁净室内,不可以有任何泄漏污染工作环境。所以通常建议将低温泵和压缩机分开放置,即将压缩机放置到洁净室的外面,以防万一。
(2)氦气压缩机的氦气泄漏
        故障现象:在压缩机经过长期运转后,压缩机内的氦气压力会有所降低。
故障分析和排除:这可能是由于两种原因造成的。{dy}、在每次拆装氦气管路时,会损失一定的氦气。氦气管路的接头为自密封型,理论上每次拆装只会有2毫升的氦气损耗。但实际操作时,有时会听到漏气的声音,此时就有可能泄漏较多的氦气。这种情况只需补充氦气即可。第二、氦气系统泄漏。氦气系统的泄漏会造成氦气的压力持续降低,最终会影响低温泵的抽气性能。这时需要使用带有嗅探器(Sniffer)的氦气检漏仪对整个低温泵系统进行测漏。排除漏点后,对压缩机补充氦气。
因此,为了避免氦气的泄漏,通常尽量避免对氦气管路进行频繁拆装。在氦气压缩机运转多年后,应对密封件进行更换,特别是各电磁阀处的密封垫圈。
1.1.2、压缩机不能运转对低温泵抽气性能的影响
(1)压缩机xx不能运转
故障现象:压缩机xx不能启动
        故障分析和排除:压缩机上安装有主电源开关和压缩机开关。在启动压缩机时应该先开启主电源开关,如果主电源开关或压缩机开关立刻跳闸,则表明电源的相序错误或电压错误,需要接入正确的电源相序和电压。如果主电源开关和压缩机开关都没有跳闸,检查远程控制器是否正确安装使用。
         因此,压缩机xx不能启动通常是由于电源错误或远程控制器安装不正确。当然,压缩机的电路损坏和机械部件损坏也会造成压缩机xx不能运转,最常见的故障是由于电源相序错误,将会有一个叫相位监测器的元件损坏。
(2)压缩机只能运转几分钟
故障现象:在压缩机开启后,只能运转几分钟,就停止工作。
        故障分析和排除:查看主电源开关是否跳闸,如果跳闸,则检查输入电压是否正确,检查氦气的静态压力是否在规定的范围内,如果太低需要补充氦气,如果氦气压力太高,需要通过充气接口放气。检查压缩机冷却水的流量和温度,冷却水的温度太高或太低都会引起压缩机的温度保护开关跳闸。查看压缩机的型号,如果是1020R或8500系列,同时压缩机的噪音很大,则表明压缩机的润滑油不足,需要补充润滑油。如果以上检查都正常,可以尝试不断启动压缩机,观察每次压缩机开关跳闸的时间间隔是否在不断延长,因为低温泵首次启动或很长时间没有使用,其内部的润滑油温度很低,导致压缩机的泵体润滑情况不好。特别是在一些寒冷地区的冬季,过低的温度会使低温泵的润滑油凝结。这时低温泵并没有损坏,只需反复启动,从而达到预热的目的。因此,压缩机的正常运转需要正确的氦气压力、良好的温度控制和充足的润滑油润滑。
         低温泵系统的故障主要有:压缩机故障、低温泵故障和再生故障。压缩机故障又分为润滑油泄漏、氦气泄漏、不能启动和噪音。低温泵故障又分为低温泵不能冷却、低温泵噪音。低温泵故障最常见的是再生故障又分为xx再生故障和快速再生故障。本文的方法可以为低温泵系统故障诊断与排除提供实际的操作指导。

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