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离子探针仪器的分类

整理了通常把离子束斑大于10μm 以上的，称为非成像宏观探针（nonimaging macroprobes）；把离子束斑小于10nm 的称为离子微探针（microprobes）。
离子探针仪器的四个分类和应用：就成像技术而言，可分为扫描型离子微探针（scanning ion microprobes）和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小，（φ≤1μm），并在样品上扫描，类似于扫描电镜（SEM）和扫描俄歇微探针（SAM），也叫离子微探针。中国卖仪器网后者是一次离子束斑较大（φ～300μm ），并静止不动，而二次离子光学（secondary ion optics）扫描成像，也叫离子显微镜（ion microscope），空间分辨率～0.2μm 。

　　在离子探针迅速发展中，要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说，把其可以分为以下几类。

　　1.非成像离子探针
　　2.离子显微镜
　　3.扫描离子微探针
　　4.图像解剖离子探针（image dissecting ionprobes）

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