Z-半导体敏感元件原理与应用

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摘要:本文重点介绍光敏Z-元件、磁敏Z-元件的特性、典型应用电路、设计方法和应用示例,供广大用户利用光、磁敏Z-元件进行应用开发时。

关健词:Z-元件、光敏Z-元件、磁敏Z-元件、传感器

Abstract: The photosensitive Z-element and magnetosensitive Z-element are introduced in this paper with their voltage and current characteristics, typical circuits, designing methods and application examples. The paper is a reference when user make use of the Z-element to design measuring system.

Keywords:Z-elements, Photo sensitive, Magnetosensitive,

一、 前言

光敏Z-元件是Z-半导体敏感元件产品系列中[3]重要品种之一。它具有与温敏Z-元件相似的伏安特性,该元件也具有应用电路极其简单、体积小、输出幅值大、灵敏度高、功耗低、抗干扰能力强等特点。能提供模拟、开关和脉冲频率三种输出信号供用户选择。用它开发出的三端数字传感器,不需要前置放大器、A/D或V/F变换器,就能与机直接通讯。该元件的技术参数符合QJ/HN002-1998的有关规定。

磁敏Z-元件是Z-半导体敏感元件产品系列中[3]第三个重要品种。它具有与温敏Z-元件相似的伏安特性,该元件体积小,应用电路极其简单,在磁场的作用下,能输出模拟信号、开关信号和脉冲频率信号,而且输出信号的幅值大、灵敏度高、抗干扰能力强。

光敏、磁敏Z-元件及其三端数字传感器,通过光、磁的作用,可实现对物理参数的测量、控制与报警。

二、 光敏Z-元件及其技术参数

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图1 电路符号与伏安特性

1. 光敏Z-元件的结构、电路符号及命名方法

光敏Z-元件是一种经过重掺杂而形成的特种PN结,是一种正、反向伏安特性不对称的两端有源元件。

表1、光敏Z-元件的分档代号与技术参数

图1(a)为结构示意图,图1(b)为电路符号。元件引脚有标记的或尺寸较长的为“+”极。

该元件的命名方法分国内与国际两种:

国内命名法:

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响应波长代号 :

1—0.4~1.2mm

2—0.2~1.2mm。

2. 光敏Z-元件的伏安特性曲线

图1(d)为光敏Z-元件的的伏安特性曲线。在{dy}象限,OP段M1区为高阻区(几十千欧~几百千欧)。pf段M2区为负阻区,fm段M3区为低阻区(几十千欧~几百千欧)。其中Vth叫阈值电压,表示在T(℃)时Z-元件两端电压的{zd0}值。Ith叫阈值电流,是Z-元件与Vth对应的电流。Vf叫导通电压,是M3区电压的最小值。If叫导通电流,是对应Vf的电流,也是M3区电流的最小值。在第三象限为反向特性,反向电流IR是在无光照时反向电压VR为25V时测量的,其值(微安级)很小。

3. 光敏Z-元件的分档代号与技术参数

光敏Z-元件的分档代号与技术参数见表1。其分档代号按Vth值的大小排列。型号分二种,按其响应波长分。目前产品波长代号皆为1。

三、 光敏Z-元件的光敏特性

1. 无光照时光敏Z-元件正、反向伏安特性的测量

用遮光罩把光敏Z-元件罩上,即在无光照的情况下,利用图1(c)特性测量电路测量其正、反向伏安特性,测量电路与方法与温敏Z-元件相同 [6] 。

2. 光敏Z-元件正向光敏特性

把Z-元件接在正向特性测量电路上,Z-元件放置在可变照度的光场中。测量时照度由小到大,每次递增100lx,用数字照度计校准,然后测量Z-元件的正向特性,记录不同照度时的Vth、Ith、Vf 。从测试可知,光敏Z-元件的阈值点P(Vth,Ith)随着照度的增加,一直向左偏上方向移动如图2(a),Vth随光照增加而增大,Vf变化较小。Vth、Ith与照度L的关系参看图3。

光敏Z-元件的正向特性还具有光生伏特现象,Z-元件的“正”极即光生伏特的“+”极。目前,光生伏特饱和电动势为200mV左右,短路电流随光照增强而增大。当照度为100lx~5000 lx时短路电流为几微安至几十微安。

3. 光敏Z-元件反向光敏特性

把Z-元件连接在反向特性测量电路中,并把Z-元件置于可变光场中。改变光场照度,用数字照度计校准,测量其反向特性,即反向电压VR与反向电流IR的关系。其特性如图2(b)。可以看出其反向电阻随照度增加而减小,反向电流随光照增强而变大。

四、 光敏Z-元件的应用电路

光敏Z-元件有与温敏Z-元件相似的正、反向伏安特性,温敏Z-元件的应用电路,在理论上都适用于光敏Z-元件。考虑到光敏Z-元件的Vth、Ith、IR有一定的温漂,因此在光开关电路中,应当有抗温度干扰的余量,在模拟应用电路中,应采用具有抗温漂自动补偿电路。

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1. M1→M3转换,输出负阶跃开关信号电路[3],[4]

负阶跃开关信号输出电路示于图4(a),工作过程的图解示于图4(b)。在无光照时,OP1为光敏Z-元件M1区特性,阈值点为P1(Vth1,Ith1),E为电源电压,以负载电阻值RL和电源电压E确定的直线(E,E/RL)交电压轴为E,交电流轴为E/RL。Q1为无光照时的工作点其坐标为Q1(VZ1,IZ1),输出电压VO1=VZ1=E-IZ1RL 。我们选择合适的电路参数,使在照度为E2时,阈值点P1移至P2,并刚好在直线(E,E/RL)上,这时Q2与P2重合。光敏Z-元件开始进入了负阻M2区,Q2点在几微秒之内即达到了f点[5],其坐标为f(Vf,If)。此时输出电压为VO2=VOL=Vf,输出端输出一个负阶跃开关信号。为了得到一个负阶跃开关信号,在照度为L2时,工作点Q2与阈值点Vth2重合,电路中各参数必须满足的条件可用下述状态方程描述:

E=Vth2+Ith2RL (1)

其中,负载电阻值RL一般为1~2kW,选择原则是,当在照度L2时,Z-元件工作在M3区,工作点Q2的电压为VZ2=Vf,电流为IZ2=If,电压与电流之积为VfIf=P,并且P≤PM≤50mW。即在功耗不大于50mW的情况下,选择较小的RL,这个开关信号的振幅为DVO:

DVO=Vth2-Vf (2)

公式(1)告诉我们为了要得到负阶跃开关信号,E、Vth2、Ith2三者之间的关系。这时还要考虑以下几个问题:

(1)从图3(a)知道照度L越大,Vth越小,Ith越大,IthRL也越大,DVO将下降,以至会发生因振幅过小满足不了要求的情况;另一方面,过大的照度也是不的。也就是说,照度选择要适当。

(2)在应用的范围内,在无光照不输出负阶跃开关信号的情况下,工作点Q1选择应尽量偏右,这样有利于减小监控或报警照度。

(3)供电的直流电源应是一个小功率可调电源。在照度L2监控或报警时,其值应与(1)式值相等。

2. 反向应用输出模拟电压信号

Z-元件反向电流极小,呈现一个高电阻(1~6MW),这个电阻具有负的光照系数,并在较高电压(30~40V)下,不发生击穿现象。图5 为反向应用电路及工作状态解析图。可以看出在无光照时,L1=0,工作点为Q1(VZ1,IZ1),输出电压为VO1,则:

VO1=E-VZ1=E-IZ1RL

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当光照为L2时,伏安特性上移,工作点由Q1移至Q2(VZ2,IZ2),输出电压为VO2,则:

VO2=E-VZ2=E-IZ2RL

反向光电压灵敏度用SR(mV/100lx)表示:

3.M1→M3,M3→M1相互转换,输出脉冲频率信号

该电路仅需三个元件,用一个小电容器与Z-元件并联,再串联一负载电阻RL,即可构成光频转换器,如图6所示,达到了用光敏Z-元件实现光控脉冲频率的目的。与温敏Z-元件脉冲频率电路相同,在无光照时,电源通过RL对电容器充电,当VC<Vth时,Z-元件工作在M1区,当VC≥Vth时,Z-元件迅速由M1区经M2区工作在M3区。M3区是低阻区,电容器迅速通过Z-元件放电,当放电至VC≤Vf时,Z-元件脱离M3区回到M1的高阻区,电源通过RL重新对电容器充电,如此周而复始重复上述过程,由输出端输出后沿触发的脉冲频率信号。信号频率用f表示:

t≈RL C

从式(4)可以看出,光照越强,Vth越小,而Vf基本不变,因而频率上升的越高。在弱光和强光下,Vth灵敏度较低,所以频率灵敏度也较低,在300~1000lx有较高频率灵敏度。RL值选择范围是8.2kW~20kW,C选择范围是0.01mF~0.22mF,E应为(1.5 ~1.8) Vth。数值小的电容器振荡频率较高,也有较高的频率灵敏度,电源电压的范围较窄;数值较大的电容器振荡频率较低,频率灵敏度也较低,但电源电压范围宽。

五、 光敏Z-元件特性与应用电路

光敏Z-元件的伏安特性与温敏Z-元件的伏安特性是极为相近的,前者的光特性与后者的温度特性也非常相似[6]。

Z-元件的特性及应用电路可以概括为:一个特殊的点,即阈值点P(Vth,Ith),该点的电压灵敏度为负,电流灵敏度为正。有二个稳定的工作区,即高阻M1区,和低阻M3区。在VZ<Vth时,工作在高阻M1区,在VZ≥Vth时,迅速越过负阻M2区,工作在低阻M3区,当VZ≤Vf时,又恢复到高阻M1区。有三个基本应用电路,即开关电路,反向模拟电路和脉冲频率电路。有四个主要参数:即Vth、Ith、 Vf、IR。

上述三个基本应用电路参看表2-1、表2-2、表2-3。表2-4是表2-1中RL与Z-元件互换位置后构成的正阶跃开关电路与输出信号波形;表2-5是表2-2中RL与Z-元件互换位置后构成的NTC电路。

光敏Z-元件的电参数中Vf的温度系数稍小,Vth、Ith、IR三个参数的温度系数稍大。在要求较高的场合,应当采用电路补偿或元件补偿,使之满足设计要求。

六、 光敏Z-元件应用示例

1.有温度补偿的光开关电路

该电路使用两个光敏Z-元件,并做反向应用,要求两个Z-元件的反向电流相等,且反向温度灵敏度温漂DTR相近。其中V2避光、V1用于光照。图7(b)为解析图,无光照的伏安特性为V1(0lx,T1℃)和V2(0lx,T1℃)有温度变化的伏安特性为V1(0lx,T2℃)和V2(0LX,T2℃),V2受光照的伏安特性为V2(Llx,T2℃)。VR为电位器R两端电压,VR1 (VR2)为T1℃(T2℃)时R两端电压,输出电压VO取自R的二分之一阻值点。在缓慢变温的场合,VO始终等于电源电压的二分之一。只有在V2受光照后,其反向电阻变小,IR增大,但是V1、R1、V2串联电路中流过三个元件中的电流相等,电位器R中点电位上升,输出电压VO2升高。达到设定照度后,D1输出由低电平变成高电平,V3导通,继电器吸合触点用于控制其它电路。

2.光电计数器

表2、光敏Z-元件应用电路与输出信号波形阻态图

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图8是光电计数器电路。D1是缓冲级D2-1、D2-2是信号反相级,供计数级选择。R1、V1、V2、R2、R3构成了温度补偿电桥,其中,V2避光,V1受光,且V1、V2应选择反向灵敏度温漂DTR相近的Z-元件。R2用来调整在{zd0}温漂状态下,无光照时D1保持输出为低电平。在被计数的物品遮挡一次光照时,D1输出一个负脉冲,D2-1、D2-2输出的计数脉冲可供选择。当工作温度变化时,因D1两个输入端等电位同步变化,不致产生误动作。

光敏Z-元件还有更多的场合能够应用,这里不一一例举。

七、 磁敏Z-元件及其技术参数

1.磁敏Z-元件的结构、电路符号及命名方法

磁敏Z-元件是一种经过特殊掺杂而制得的改性PN结。图9(a)是结构示意,图9(b)是电路符号,“+”表示正向使用时接电源“+”端,M表示对磁场敏感。

表3、磁敏Z-元件分档代号与技术参数

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磁敏Z-元件的命名方法有两种:

国内命名法

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2.磁敏Z-元件的伏安特性曲线

磁敏Z-元件的伏安特性,应当在无磁场的情况下进行测量,图9(c)是伏安特性测量电路,正向伏安特性的测量电路与方法与温敏Z-元件的相同[6]。

图9(d)的伏安特性中OP段为高阻区,记为M1,pf段为负阻区,记为M2,fm为低阻区,记为M3区。特性中的Vth叫做阈值电压,表示在25℃时两端电压的{zd0}值。Ith叫做阈值电流,是Z-元件电压为Vth时的电流。Vf叫做导通电压,是M3区电压的最小值。If叫做导通电流,是对应Vf的电流,是低阻区电流最小值。反向特性无磁敏。

3.磁敏Z-元件的分档代号与技术参数

磁敏Z-元件的技术参数列于表3,磁敏Z-元件的分档代号有两个,一个是Vth,共分四档;另一个是阈值磁场,共分两档。磁敏Z-元件的技术参数符合QJ/HN003-1998。

八、 磁敏Z-元件的磁敏特性

磁敏Z-元件的正向伏安特性,可用图9(c)所示电路进行测量,与温敏Z-元件正向伏安特性测量电路与方法相同。[6]

磁敏Z-元件在磁场中,其伏安特性曲线形状发生了变化,因而,技术参数也发生了变化。磁场由弱到强的变化过程,技术参数的变化范围如表3所示。

1.阈值磁场:Bth(mT )

磁敏Z-元件置于磁场中,如图10所示。电路中产生了自激振荡,输出信号VO的波形类似于温敏Z-元件的下降沿触发的脉冲频率信号。使Z-元件刚刚起振的磁场,定义为阈值磁场,用Bth表示。

2.磁场范围:B(mT)

磁场范围,表示维持Z-元件正常振荡的磁场,其值为(1~1.5)Bth。

3.频率范围:f(Hz)

Z-元件在磁场中正常的信号频率范围。

4.频率灵敏度:SF(Hz/mT)

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磁敏Z-元件在磁场中产生振荡后,频率的变化量Df(Hz)与磁场变化量DB(mT)之比为频率灵敏度SF(Hz/mT):

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5.电压灵敏度ST(mV/mT)

磁敏Z-元件在磁场中,Vf向右平移增大,磁场越强,Vf增加的越多,见图11。电压灵敏度ST等于导通电压Vf的增量DVf与磁场变化增量DB之比。

磁敏Z-元件在实验中,除上述参数用来表述在磁场中变化外,还有一种在磁场中的特性没有相应的参数可以表示。例如,在磁场中,Vf阶跃式的增大,同时Vth也增大,幅度变化为:

Vf:(1~3) Vf,Vth: Vth+(0~1V),

参见图11。这一特性非常适合制作磁控开关、转速表等。

九、 磁敏Z-元件的应用电路

磁敏Z-元件是一个非线性元件[1],典型应用电路为Z-元件与一个负载电阻RL串联的电路。RL的一个作用是限制工作电流,另一个作用是可以从RL与Z-元件连接点处取出输出信号,如图12(a)所示。Z-元件允许并联一个电容器,输出脉冲频率信号。

1. 工作在M3区输出阶跃信号

磁敏Z-元件工作在哪一个区,与电源电压E的大小有关。在温敏Z-元件工作中,由M1区向M3区转换的过程中,电源电压E,负载电阻RL与Z-元件的参数Vth 、Ith,必须满足的条件-状态方程为:

E= Vth +IthRL (7)

该方程仍然适用于磁敏Z-元件。

图12是输出阶跃信号的电路图,工作状态解析图和信号波形图。为了保证Z-元件工作在M3区,P(Vth,Ith)点必须设定在负载线(E,E/RL)的左侧,并应考虑温度的影响,在应用的温度范围内,能可靠地工作在M3区。

从解析图中已知道,无磁场时工作点为Q1(Vf,IZ1),输出为VO=VOL=Vf。加入300mT磁场,P1(Vth1,Ith1)移至P2(Vth2,Ith2),P2点在直线(E,E/RL)的左侧,Q2(VZ2,IZ2)点在OP2上,这时的输出为:VO=VOH=E- IZ2RL

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当磁场为B=0时,VO又恢复为低电平,即VO=VOL=Vf。

2. 并联电容器M1→M3,M3→M1互相转换输出脉冲频率信号

图13是磁敏Z-元件输出脉冲频率信号电路。Z-元件在磁场中产生的自激振荡,其脉冲频率信号往往不够稳定[1]、[2],因而采用Z-元件并联电容器的方法,改善振荡的稳定性和电源电压的适应性。这个脉冲频率信号是下降沿触发的,其频率受磁场的调制,信号频率与磁场的关系参见图13(c)。

磁敏Z-元件的应用电路图12(a),可以把Z-元件与RL互换位置,其输出信号是关于电源电压E的互补信号,参看表4-3,其信号变化幅度的{jd1}值|DVO|相等,前者输出信号是由低电平上升为高电平,后者输出信号是由高电平下降为低电平。

十、 磁敏Z-元件特性与应用电路

Z-半导体敏感元件原理与应用 - 主席 - lican8341的博客 磁敏Z-元件正向特性对磁场敏感,反向无磁敏特性。它的阈值点P(Vth,Ith)中,Vth为正磁系数,Ith有较小的负磁系数。磁敏Z-元件也有两个稳定的工作状态,即VZ≥Vth时工作在低阻M3区,当VZ<>

十一、磁敏Z-元件应用示例

1. 流量脉冲传感器

该流量传感器电路示于图14,这是一个RL与磁敏Z-元件串联的电路。Z-元件工作在M3区,电源电压E应大于(Vth +IthRL),使之在允许的工作温度范围内,能可靠地工作在M3区。

由N、S磁极构成的平行磁场固定在转盘上,当流体冲击转盘转动时,只在磁极罩在磁敏Z-元件上的一瞬间,输出端输出一个高电平VOH,磁极离去时,输出为低电平VOL。转盘上的磁

极对数根据实际需要选择,两个高电平的间隔时间tx是流量的函数,经过标定以后,可编成查表程序用低功耗单片机进行显示,并需要输出相应信号。

图14电路还可以用来制做接触式转速表。转速表的接触式锥轴与磁极固定在一起,当磁极被锥轴代动一起旋转时,磁敏Z-元件在磁极作用下,输出与图14相同的信号,进行计数、显示。当N=1、S=1时,磁极对数为P=1,计数器的闸门信号为t,直接计数,显示的即是转速n[r/s]

t=1/p(s)

2. 报警传感器

该报警传感器采用图15电路, 待机(安全状态)电平为高电平VOH=E-IZ2RL。

被保护的物品(贵重文物、家电、门窗等)与磁极巧妙地固定在一起,使之罩在磁敏Z-元件上,输出信号为VOH表示正常待机,即安全状态。当被保护的物品被非法移位,致使磁极与Z-元件分开,输出信号由VOH变为VOL时,即发生了警情。用VOL信号去触发报警装置,发出声光报警信号或自动触发并送出特种远传报警寻求帮助,这些在技术上,都是非常容易实现的。磁敏Z-元件能以简单的电路实现诸多应用,应用示例很多,这里不再赘述。

十二、磁敏Z-元件研究中存在的问题

我们对磁敏Z-元件工作机理和特性的探讨做了大量工作,仍然有不少问题需要进一步探讨:

1.磁场的磁力线与Z-元件管芯平面的法线垂直时灵敏度{zg},但是,磁场改变了方向后和改变方向前两者灵敏度不等的现象,尚未找到答案。

2.磁场由弱到强的变化,Vf的增加有跳跃式的变化,这种Z-元件在用于连续测量时就受到了限制。

3.磁敏Z-元件Vth一般较大(>10V) ,Vth较小的(<10V)往往灵敏度又较低。研制小Vth高灵敏度低温漂的磁敏Z-元件是一项高投资、高风险、高技术的新的攻关课题。

Z-元件是一个全新的元件。无论是温敏、光敏、磁敏还是力敏,进一步提高其灵敏度改善其一致性和稳定性,对于我们来说都是一项新的攻关课题,欢迎业内同仁和专家共同努力,开创Z-元件研究的新纪元。

[1] V.Zotov,V.Bodrov, Small displacement sensors based on magnetosensitive Z-elements, Third Symposium on Measurement and control in Robotics ISMCR’93/Session Cm.IV-7, AMMA, Via Vela17, Torino, Italy, 1993.

[2] V.Zotov,V.Bodrov, Novel semiconductor Sensitive elements based on the Z-effect intended for various robotic sensors and systems,2nd Symbosium on Measurement and control in Robotics ISMCR’92/p.p 723-728

[3] 傅云鹏,Z-元件技术特性评述和应用展望,产品世界 1996年7期

[4] 傅云鹏,赵振雁,王哲宁,Z-半导体敏感元件原理与应用-(1),传器世界2001年2期

[5] 周长恩等,Z-半导体敏感元件原理与应用-(2),传器世界2001年4期

[6] 王建林,Z-半导体敏感元件原理与应用-(3),传器世界2001年6期

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