超（高）纯氢气纯化设备及装置_dlsamat的空间

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º 采用高效吸气剂对氢气中杂质进行深度纯化；

º 采用WX工艺，首先使用非消耗型填料脱除气体中O₂、H₂O、CO₂等大量杂质，延长了贵重消耗型吸气剂的使用寿命，抗原料气波动能力强；

º 采用进口洁净管道、阀门，Swagelok全自动轨道焊，专利内加热抛光反应器，全面保证产品质量；

º 集约化箱体包装，全自动运行、C级防爆；

º 应用领域：

高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电产品生产等电子工业气体终端纯化；

高纯气体生产、分析零点气制备；

氯碱氢气纯化；

钢铁、石化、机械行业保护气纯化；

型号 Type	原料气 Inlet	产品气 Outlet（ppm）
型号 Type	原料气 Inlet	纯度	O₂	H₂O	CO₂	CO	N₂	CH₄
U7H-WX	≥99.999%	≥99.99999%	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.05	≤0.05
U7 H -X	≥99.999%	≥99.99999%	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.05	≤0.05
U6 H -WX	≥99.99%	≥99.9999%	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.5	≤0.5
UPH -HW	≥99.98%	——	≤0.1	≤1	≤1	——	——	——

2工作压力：0~2.5Mpa 压力降：0.1Mpa 处理量：1~10000Nm³/h 颗粒度：≤0.01μm

超纯氢气纯化设备用于英国BOC气体公司南京55所100Nm3超纯氢气纯化设备

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