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4D动态激光干涉仪

4D动态激光干涉仪 [/td]

美国4DTechnology是专业研发与生产“动态激光干涉仪”的公司，采用{zx1}的瞬时相移干涉技术(SPSI)，只需CCD采一幅干涉图，就可以得到被测表面的所有相位信息，大大缩短了干涉测量时间，不仅能达到传统相移干涉仪的精度和可靠性，而且无需普遍干涉测量必要的防振台。" i% B: }/ n5 _3 c3 U$ R
4D的动态干涉仪在应用上无需隔振平台，并可以xx气流对测量的影响；适合于大口径、长焦距光学元件的测量，可以应用于光学系统现场检验、复杂、恶劣环境的光学检验，并能进行连续的动态测量，甚至对光学表面的变化过程进行测量。( D ^/ b. m2 u( U* p5 r) Y5 \* @
4D的动态干涉仪的出现，为干涉仪的应用带来了一场革命，一经推出，便在先进激光、空间光学、天文学等领域得到了迅速的应用，并获得多项荣誉，其中包括自2004年以来连续3年荣获的R&D100奖，2006年的美国航天局NASA的格达德奖。8 `2 g( v1 R. |

共光路菲索型干涉仪 FizCam系列& t4 z9 z% R) B

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型号：FizCam2000、FizCam3000
最小通光口径: 100mm+ k& ]* F# j( w% t. `' _
   应用：适合于平面、球面、凸球面的远程测量

   镜头：使用通用的标准菲索镜头
【FizCam2000】采用短相干光源，可以控制干涉位置，即使测量平行平板表面，也不会出现前后表面的干涉图案。这种干涉仪对参考表面与被测表面之间的距离有一定的要求，不能大于400-2000mm。但是参考表面可以放置到离干涉仪很远的位置，进行所谓的远场测量，比如大口径凸球面的测量。
   应用：1）高精度的均匀性测量（参见‘技术支持’中的文献）7 o! g  T: [: z3 ^; N2 l
         2）外加扩束器，可以组成大口径动态相移干涉仪
         3）远程空腔测量" N) L9 b0 M4 Z! W2 q
         4）凸球面测量( B6 w9 J9 a" L4 u6 Z' s" {
【FizCam3000】采用稳频HeNe激光，适合于长光程测量，除了动态特性外，与传统的菲索干涉仪在使用上没有区别，比较适合习惯于使用菲索干涉仪的用户。1 `7 N- [; Q* K; [! b
   应用：1）平面测量
         2）球面测量* z2 e! w( o& x& F$ ^6 d, F! a/ b
         3）半径测量4 N  y# N1 H, Z* P* t
         4）普通干涉测量中气流影响比较大的情况2 N5 ?$ t. f2 e& X- A5 u+ |3 }7 f* M

泰曼-格林型干涉仪 PhaseCam系列
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      型号：PhaseCam4020, PhaseCam5030, 红外，多波长等
      口径：10mm左右* M" F# T2 z: N" y& w
      特点：小巧轻便，便于移动，镜头丰富；即使对高反被测表面，也无需衰减器
      应用：长光程、大口径球面及非球面的测量，可扩展用于真空或超快过程的测量
【PhaseCam4020】基本型的PhaseCam干涉仪，光源：632.8nm HeNe激光，可靠实用，可适用于多数场合。: I7 y/ e. p, w7 S1 R
【PhaseCam5030】基本特性与P4020型相似，在此基础上增加了光学变倍ZOOM3X，配有遥控控制箱；使用与P4020相同的镜头；支持扩展使用2Kx2K的CCD。0 j/ Q$ P; S$ O' g: k  W! s
【PhaseCamMW】多波长干涉仪，采用3个激光器，可以通过合波方式构成不同的等效波长，测量表面的形状误差可以从mm级到nm级；适用于复杂表面测量，如大口径表面的子镜拼接等。
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【ESPI】基于泰曼-格林形式的电子散斑干涉仪，适用于漫反射非光学表面的形变测量精密测量，比如太空镜碳纤维板的变形等。       / z( O4 Z- e& E5 F2 T

马赫-泽德型干涉仪WaveCam系列% g6 |; C" p! p
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      型号：WaveCam1000- @" [: ~! F7 x+ W  R
      波长：405nm, 650nm, 780nm 单脉冲或连续激光
      特点：内部激光自校准% Y% p; ?/ I" B& r+ A* n4 ?
      应用：CD，DVD，HD-DVD以及蓝光pick-up头的测量
            激光波前分析
            小型元件测试' h& q- k% p# k8 p

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