真空紫外光谱仪_迈可诺_新浪博客
在波长1到100-nm范围使用最多的仪器是McPherson 的248/310G型一米焦距掠入射光谱仪. 这一仪器设计合理,工作于软X射线谱段,使用简单. 247型是焦距为2.2米的同类产品.我们还生产其他各种焦距的同类产品. 单色仪通过出口狭缝在罗兰圈(Rowland circle)上移动来扫描波长. 罗兰圈 (Rowland circle)的直径等于光栅的屈率半径.

选用不同的光栅,本仪器可以覆盖从< 1-nm 到 310-nm的波长范围. 采用光栅线密度为133.6-g/mm的光栅本仪器可工作于空气中,用于非真空紫外发射测量(如Hg)

动态安装的光栅确保其在更换时位置的准确性. 光栅室为不锈钢制成,装有标准的4.5" 金属密封真空泵接口. 光栅室带有光栅固定装置,在真空中可调的聚焦千分尺, 光圈调节滑板, 进口狭缝, 波纹管出口狭缝和法兰以及插入式过滤板选件.

248/310G型光谱仪可以用于单通道扫描,多通道光度计(使用多道平面增强器或CCD), 或者倒过来使用作为极紫外线及软X射线(Extreme UV and Soft X-ray)的多种单色光源.不管哪种模式下,都带O型密封的真空系统或全金属密封的超高真空系统.

当248/310G型光谱仪用作扫描单色仪使用时,可以得到{zj0}分辨率和最宽的波长覆盖范围. 出口狭缝通过密封焊接的波纹管装置连接到光栅室,可以在光栅中心50mm范围内扫描. 采用88度入射角,扫描精度可以达到0.98-nm.

使用 (36,000 steps /rev.) 步进距离为0.0004". 取决于光栅刻线密度和入射角度,这一距离同波长直接相关. 双边可调入射狭缝 (5-3000 um)固定在光栅室上. 罗兰圈(Rowland circle)上移动的狭缝可由xx的千分尺调节. 狭缝装置上带有安装真空计,进气阀,初级阀的接口. 波长小于30-nm时为提高性能,应使用金属过滤薄片以滤出散射和低能光. 用于{zg}能量/最短波长时,应使用VYNS型过滤片.

Specifications

Focal Length

1-meter, Grazing Incidence design Monochromator / Spectrometer

f / No.

44

Grating Size

25 * 20-mm ruled area

Angle between entrance and exit beams

176 to 157-degrees

Wavelength Reproducibility

0.005 nm (with 1200 G/mm grating)

Vacuum

o-ring seal version for 10^-6 torr, optional all metal sealed versions for 10^-9 torr

Focal Plane

40-mm or 25-mm on scanning carriage for full coverage

Wavelength Range

refer to grating of interest for range

 

Performance of the Model 248/310G with various gratings:

Grating (G/mm)

3600

2400

2160

1800

1200

600

576

300

133.6

Wavelength Range
from 1-nm to

10-nm

17-nm

19-nm

23-nm

35-nm

70-nm

73-nm

140-nm

310-nm

Grating Blaze Angle

Holo

Holo

1-deg

Holo

Holo

Holo

1-deg

2-deg

2-deg

 

1-deg

2-deg

3-deg

 

1-deg

1-deg

2-deg

 

 

 

 

 

 

 

2-deg 18-min

2-deg

 

 

 

Resolution (nm)

0.006

0.009

0.01

0.012

0.018

0.036

0.038

0.072

0.16

Dispersion (nm/mm)

0.025 to 0.09

0.03 to 0.15

0.03 to 0.15

0.04 to 0.18

0.05 to 0.27

0.08 to 0.34

0.08 to 0.34

0.16 to 0.7

0.4 to 1.6

 

 

操作模式

 

本掠入射光谱仪可以根据不同的实验或应用要求采用不同的模式. 如需检测瞬态等离子体,可能需要迅速采集较多的数据以得到暂态分辨率,这就需要仪器带有微通道板增强器(microchannel plate intensifier). 相反地,如需检测窄的谱段范围(如 x-ray laser), 则可用 CCD 得到高分辨率,但需教长的时间. 如用于soft x-ray and extreme UV 谱段反射率 ( reflectometry)测量或校验,本仪器应该倒过来安装.

左边照片为McPherson 248/310G使用无窗背后照明无镀膜CCD探测器,可以直接测量 soft x-ray 和 EUV 光谱. CCD 垂直于出射光束. CCD中心是{zh0}的焦点. CCD可以在Rowland circle上扫描使得任意波长时光束都打在探测器的中心.

 

为采集soft x-ray and extreme UV谱段的数据,可以在Rowland circle上使用微通道板 (microchannel plate). 通过这种方式,可以同时采集 40-mm 宽的谱线数据. 光阴极材料和微通道板(MCP)需要真空环境,不能在空气中调节. 微通道板(MCP)固定装置允许用户在真空中调节聚焦,转动,角度,等等,从而得到{zy}的谱线. 通常我们选用40 mm 宽的微通道板(MCP),为覆盖更宽的波长范围,可以移动MCP多次成相. 数据读出采用通过光纤连接的CCD或PDA 阵列. 微通道板(MCP)装置可以扫描从{zd1}约 2-nm (MCP的极限)到{zg}大约 250-nm (在MCP中心),超过250-nm CsI 光阴极不再响应.

 

 

 

 

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