超精密研磨机抛光加工技术极高的面型精度
超精密研磨抛光加工技术可以获得极高的面型精度
    超精密研磨抛光加工技术是研磨行业的xx技术,可以获得极高的零件表面质量,主要是获得极高的面型精度(如平面度、平行度等)和无加工变质层的表面现代高科技产品的制造,如单晶硅片、硬磁盘基片、压电陶瓷换能器等均需要采用超精密平面研磨加工技术,超精密平面研磨可分为四个基本组成部分一研磨盘、研磨液、磨粒和工件。研磨盘是精密研磨加工中的模具,其面型精度对被加工件的面型精度影响非常大,模具表面形貌能在一定程度上“复制”到工件表面上。抛光是利用柔性抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度,而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的,通常作为精密加工的{zh1}一道工序。因为研磨和抛光的原理基本一致,通常所使用的加工设备也可通用,故经常将研磨和抛光并提,称为平面研磨抛光机。
  超精密研磨抛光可以通过单盘单面研磨抛光或者双面研磨抛光实现。双面游离磨料研磨中工件在上下盘之间,研磨时上下表面被同时加工。单面抛光在对单面有平坦度要求,背面形状复杂不易夹持或单平面基准面及高平坦之镜面加工要求时;或薄易碎而没有变形的情形下特别适用。单面游离磨料研磨抛光加工因其适应面广,仍然是应用最广泛的加工形式之一。
  超精密研磨抛光当前是指被加工零件的尺寸和形状精度高于0.1,表面粗糙度Ra小于0.025,以及机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01的加工技术,目前已进入纳米级精度阶段。超精密抛光{zd0}的特点是它不改变工件的面型精度.,只改善其表面粗糙度,超精密抛光可使工件的表面粗糙度值达到纳米级甚至次纳米级。超精密研磨{zd0}的特点是能获得极高的面型精度,比如超精密平面研磨可以使工件的平面度达到十分之一甚至百分之一微米的水平。因此为使工件获得高的面型精度,低的表面粗糙度,一般将超精密研磨技术和超精密抛光技术并提,称为超精密平面研磨抛光技术,取超精密研磨的高精度及超精密抛光的低表面粗糙度,从而加工出非常精密的零件。

  目前,先进光电子产品的制造正朝着高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速发展,带来的对许多光电子产品部件表面的局部平面度及全局平面度提出的前所未有的高要求(如要求表面粗糙度达到亚纳米量级),当表面粗糙度达到亚纳米量级时,已与原子直径(小于0.3nm)处于同一数量级,已接近表面精加工的极限。深圳海德从事平面研磨抛光机设备的研发多年,深刻认识到要获得这么超镜面的平面效果,细节非常重要,而完善的管理体系,认真负责的工作态度是前提,深圳海德提倡用心铸造每一个零件,用心体会每一个过程,铸造精品服务磨界!

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