日本精工研制开发出真空清洁N系列
日本精工研制开发出“真空清洁N系列薄壁轴承”，应用于半导体制造装置的真空搬运机器人。N系列薄壁轴承的研制开发，进一步扩大了特殊应用环境轴承产品系列。
该产品用于真空搬送机器人的躯体以及手臂关节部位，其特点一是通过改良润滑剂（V－DFO）实现了挥发气体比封入高真空润滑油的商品低三分之一以下、持久性比氟化乙烯树脂被膜商品提高20倍；二是采用低排气量、耐高温树脂保持架，xx了以前由于金属保持架磨损所产生的润滑剂的劣化；三是采用耐久性高的氮化硅滚珠，提高了薄膜润滑下的耐久性；四是内、外轮采用NSK独自开发的不锈钢，和以前相比具有10倍的耐腐蚀性。
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