电火花加工时金属的蚀除分熔化和气化两种。宽脉宽作用时间长，容易造成熔化加工，使工件表面形貌变差，变质层增厚，内应力加大，易产生裂纹。而脉宽小到一定值时，作用时间极短，形成气化加工，可以减小变质层厚度，改善表面质量，减小内应力，避免裂纹产生。

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    电火花线切割简称线切割。它是在电火花穿孔、成形加工的基础上发展起来的。它不仅使电火花加工的应用得到了发展，而且某些方面已取代了电火花穿孔、成形加工。如今，线切割机床已占电火花机床的大半。加工出来的表面比较粗糙。慢走丝也是线切割的一种，是利用连续移动的细金属丝（称为电极丝）作电极，对工件进行脉冲火花放电蚀除金属、切割成型。
它主要用于加工各种形状复杂和精密细小的工件，根据电极丝的运行速度不同，电火花线切割机床通常分为两类：一类是慢走丝（也叫低速走丝电火花线切割机床）电极丝作低速单向运动，一般走丝速度低于0.2m/s，精度达0.001mm级，表面质量也接近磨削水平。加工出来的表面很光。
 
硅是生产太阳能电池的主要材料，太阳能电池生产一般有硅棒生长、硅片切割、硅片清洗、制绒及其电极制作几个步骤，在工艺方面主要致力于降低电池表面的光反射来提高太阳能光电转换效率，一般采用的有镀减反射膜和表面织构工艺。
单晶硅电池的表面织构化已经用酸碱异'性腐蚀的方法得到解决，转换效率高，稳定性好，但是成本比较高。多晶硅是单晶硅的直接原料，能直接制备出适于规模化生产的大尺寸方型硅链，制造过程简单、省电、节约硅材料，具有更大的降低太阳能电池生产成本的潜力。由于多晶硅中的各种缺陷，如晶界、位错、微缺陷等，使其光电转换效率较低，目前多晶硅电池主要制作减反射膜(SiN 薄膜)和制作多孔硅降低光损失，这种方法的设备成本高。同时国内外尝试了用机械刻槽工艺[1] 、反应离子刻蚀技术[2] 、蜂窝绒面结构技术[3] 形成绒面，由于工艺复杂、工序时间长、设备昂贵和成本高等不适慢走丝线切割机床加工经验合工业化生产。以提高转换效率和降低成本为目标，探讨和研究多晶硅电池的新型制作方法是一项艰巨的任务。
常规太阳能硅片切割使用线锯切割，切割损耗较大，且有宏观切削力等缺点，而电火花钱切割具有能量密度高、无接触去材、无宏观切削力等优点，渐渐成为加工硅片的一种手段，国内外90 年代末期开始对硅进行了大量的电火花加工试验研究，使电火花加工硅片成为可能。本课题组已进行基于复合工作液的高速走丝电火花电解复合切割硅片试验研究.