高雪松¹   杨帆²
1、北京理工大学信息科学技术学院光电子研究所
2、中国科学院电子学研究所高功率气体激光技术部

摘  要：本文介绍了工业CO₂激光器的发展历程，分析了其基本应用现状，列举了工业CO₂激光使用上的常见问题，展望了工业CO₂激光的发展前景。
关键词：激光加工，工业激光，CO₂激光器

1、前言

二氧化碳激光器是目前连续输出功率较高的一种激光，它发展较早，商业产品较为成熟，被广泛应用到材料加工、医疗使用、军事武器、环境量测等各个领域。在激光的发展和应用方面，CO₂激光器的制作和应用较早也较多，早在1970年代末期，就有从国外直接进口CO₂激光器，从事工业加工和医疗等应用。从80年代末期开始，CO₂激光器被广泛引进并应用在在材料加工领域。
近年来CO₂激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO₂激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。本文针对CO₂激光器在不同领域的应用状况及其演变作以分析，并提出在使用CO₂激光器过程中，常面临的一些问题，按照CO₂激光器功率大小分类，阐述其在各个产业上的应用状况及演变情况，列举CO₂激光应用者会面对的主要问题并加以分析，{zh1}对CO₂激光应用的未来提出展望。

2、工业CO₂激光应用与发展

为了比较详细完整的介绍CO₂激光加工的应用状况，按其使用成本，本文以激光输出功率范围（小于200瓦，介于200到1600瓦间和大于1600瓦以上）作为划分标准，逐一介绍它在各个领域的应用情况。
2.1低功率（小于200瓦）CO₂激光的应用
早期进口和制造的CO₂激光机器，均为小于200瓦的低功率激光器。主要为电子工业（如电阻制造、IC标志）、非金属加工业（竹木雕、服饰、制鞋、饰品制造等）和部份医疗和研究单位所使用。
将CO₂激光束透过一个光罩，聚焦于IC或半导体组件上作标志，这种CO₂激光主要皆为TEA脉冲式。但随着标志加工速度的要求越来越快，加工品质的要求越来越高，以及固体激光的快速发展，最近新引进的标志加工用激光，已逐渐被固体的YAG激光所取代。
用镂空的铜模罩住要雕刻的非金属材料，然后用CO₂激光束在铜模上作快速扫瞄，即可在该材料上雕刻出复杂的图案。雕刻对象为木材、压克力、皮革和纸张等，另外也可以应用到雕刻特有的手工艺品，如竹片雕刻、软木浮雕、贝壳浮雕等。最近几年已转型用密封式CO₂激光，直接以扫瞄振镜作少量多变化的礼品雕刻，以提高产品的附加价值。
成衣和制鞋业曾经xx风骚十数年，也是引进国外或采用自产的低功率CO₂激光加工较早的成功典型，主要是以50瓦激光来裁切制衣服用的马克板和鞋子样板，仅用于开发或少量多样的生产，故数量有限。也有少数150瓦左右的CO₂激光直接作皮衣、皮件等生产用。另外计算机刺绣业有以激光配合CCD取样，直接将刺绣在一大张上的众多图案一一裁下。但是随着两种产业的外移和萎缩，CO₂激光器在这方面的应用也没有增加。而采用低功率CO₂激光来裁切家具或饰品上的装潢用薄树皮持续增长，主要结合造型设计和后段生产，附加价值较高。
由于国外CO₂激光的发展很快，小功率的CO₂激光采用密封式结构，且品质越来越好，因此，除了上述加工业外，进口的其它应用系统里也有许多此类的CO₂激光器，用在穿孔、印刷业刻板、快速成型、镜片上打商标和陶瓷基板加工等方面，其应用潜力不小。
输出200瓦以下的CO₂激光器在一些非金属薄材料切割方面绰绰有余，除上述业者较常使用外，其实仍有很多产业界的特殊材料皆可考虑以激光加工取代，如建筑业的压克力模型制作，结婚相簿封面的硬版图样，其特点是是小而复杂，但均可以CO₂激光来作裁切。云母薄板的裁切﹑xxx内纤维布的裁切﹑耐龙安全带的裁切，还有其它一些特殊材料如：FRP、ABS、特弗龙、石棉和橡胶等的裁切，国外都有采用激光加工的先例，只是需要特别注意切割时所产生气体的排放问题。
2.2中高功率(200瓦-1600瓦)CO₂激光的应用
中高功率激光，是目前CO₂激光加工设备的主流，主要用于钣金代工业，也有少部份机器为工厂自行使用的生产设备。目前此类激光机器近三分之一皆为最近引进，可见此类功率的CO₂激光正处于快速成长阶段。中高功率CO₂激光设备最主要的应用，就是作钣金切割，大部分以代工的形式经营。加工对象广，加工种类多，以下介绍几种应用较多或特殊的例子。
2.2.1木刀模业
以CO₂激光在木板上切割出宽度约0.6mm的各种复杂重复图形的沟槽，然后再装上锋利的刀片，制成轧型刀具，这是裁切所有包装纸盒、塑料射出成型、保丽龙用具和软性电路板等制作过程中很重要的一环，应用前景看好。
2.2.2各种机器零部件切割
机器的各式各样零部件，在某个厚度以上或形状较为复杂，其实都可以用激光加工来取代传统的加工方式，虽然可能加工成本会高一点（有些不一定），但可节省很多人力，并提高产品质量。
2.2.3汽车钣金切割
经过模具压轧成型后的汽车钣金为立体形状，一般再加工较为困难，若以五轴CO₂激光加工机作压边的切除和内部孔洞的开挖，则可以充分显出激光加工的优势。目前国内已有数家专门生产汽车修护用钣金的工厂，进口五轴CO₂激光加工机在作这方面加工。但此类机器尚属高价位阶段，将来若能降低价格，国内将会有不少厂商引进此类加工机。
2.2.4计算机、电气机壳的钣金切割
计算机机壳的钣金切割，以及各种机器控制箱和机壳的钣金切割，是最主要的加工对象。尤其是一些产品产量不多，形状复杂，产品生命周期不长，开模划不来的钣金切割最多，如：电动玩具机壳、自动xx机机壳、配电盘等。也有一些是已经开模，但产品更改设计后，须在已成型的钣金上作更改的加工。
2.2.5特殊材料切割
由于激光可以作非接触式切割，切缝窄又不影响外围材质，所以被广告和建筑业界普遍采用在特别需要保持工件表面极度光滑的镜面不锈钢或一般不锈钢板的切割加工，如：招牌、雕塑品、电梯控制面板、厨具、圆形锯片、压克力、弹簧垫片、2mm以下的电子机件用铜板，一些金属网板、钢管、镀锡铁板、镀亚铅钢板、磷青铜、电木板、薄铝合金、石英玻璃、硅橡胶、1mm以下氧化铝陶瓷片、航天工业使用的钛合金等等。 随着产业形态的演变，钣金加工对象越来越复杂多样，传统的冲孔机功能已不能满足要求，线切割速度又太慢，CO₂激光的加工功能正好弥补它们所缺，这也是近几年CO₂激光加工机引进速度持续且快速增加的主要原因。
2.3 高功率（大于1600瓦）CO₂激光的应用
大于1600瓦的高功率CO₂激光，主要被应用在金属焊接和表面处理上，在工业先进国家已逐渐被国防、汽车和航天工业里一些特殊领域所采用。但早期高功率激光的价位比较高，加上这一方面的技术养成训练有限，所以除了国防上、一些大学和研究单位有这一方面的应用外，民用工业较少引进此类高功率CO₂激光。最近三、四年引进很多，主要应用于各项钣金切割，使加工速度更快、更有弹性。观之未来的发展趋势，高功率CO₂激光在焊接和表面处理上的应用，必定会被工业界逐步接受并采用。
2.3.1激光焊接
利用高能量密度激光束，将工件材料熔融而焊接在一起，可以使焊件热影响区与变形量均降至{zd1}，且无需使用焊剂或作异种材料，其接合强度特别牢固。汽车里面有很多零部件，若一体成型难度很大，但若将其分开成型再焊接成一体，则能减小生产难度并降低成本。在焊接时为了减少对原成型工件的热影响，常用激光来快速焊接，这是一个非常有潜力的加工市场。因此在汽车工业中许多零部件接合时普遍采用激光焊接，如导螺杆制造厂商采用激光焊接导螺杆前端的固定座；汽车厂用激光来焊接不同厚度的两块钢板，再压轧成型以降低生产成本；另外汽车引擎开发案中也有部份地方采用激光焊接加工。国内在这一方面的加工应用尚少，目前仅有几家专门生产国外汽车零部件的OEM厂商，引进CO₂激光加工设备焊接汽车内不锈钢滤油杯，生产速度变快，产品质量好，单价因而提高。
2.3.2激光硬面处理
利用高功率激光束，将欲硬面处理的工件底材表面熔融一薄层，藉此一熔融层与硬面合金材料交互熔融成一冶金键结（Metallurgy Bonding），达到硬面处理的效果。

3、工业CO₂激光使用中的问题

激光加工属于新进的加工技术，即使在工业先进国家，激光加工被工业界较普遍接受并有所发展，也是近十几年的事。国内工业界直到这几年才比较普遍接受激光加工应用，并引进和制造较多的激光加工设备。所以在激光设备的了解、激光加工经验的累积和激光加工应用范围的拓展等方面，都尚有待加强。大部分激光厂商或加工业者，在引进激光加工应用的过程，都会面对一些与传统加工方式不同的问题。加工应用的不同，加工机器的不同，遇到的问题也不同，但大致上可归纳出下列几点。
3.1维修保养
CO₂激光应用广泛、市场庞大、发展快速，算是比较成熟的激光产品，但是比起一般传统的加工机械，CO₂激光加工设备发展时间还算短暂，其主要结构还在快速换新，加上激光设备中许多光学组件常需要作精密调整、保养维修或更新，而相关之技术人员有限，所以大部分激光加工业者，多多少少都碰到一些保养维修问题。尤其是早期，国内激光市场有限，一般代理商可能好几年才进口一两部激光加工设备，代理商未必愿意专为此培养维修人员，况且工作人员的流动，加上激光维修技术的养成并非容易。所以只要激光系统使用一段时日，就会碰到找不到人保养维修的问题，一旦遇有小问题就要远从国外请原厂技术人员来修护，不但花费高而且拖延时日；有的甚至机器进口后，代理商就无法让其正常工作。 最近几年随着国内激光市场的快速成长，代理商规模越来越大，甚至国外厂商直接在国内设立分公司，并长期派驻技术人员，而且CO₂激光的发展也日趋成熟，故障和维修问题减少很多。但是一般生产在线或代工业者所使用的激光机器，仍然最怕故障停机，若是小问题，可能一两天就解决，碰到大问题，如电极板更换、主要机件故障等，可能要等到原厂技术人员或国外寄来零部件，旷日费时。所以许多工厂都至少购买两部激光加工机，或事先跟同行协商好，必要时作互相支持。
3.2机器设备成本太高
早期使用的CO₂激光加工机，皆由国外进口，一部较高功率加工用CO₂激光机器动则上千万。近几年来，国内已有自己开发组装的加工机，促使进口的CO₂激光加工机价位降低不少。但成套加工配备，也须花上几百万到近一千万元间，尤其五轴立体加工机或复合式加工机价位更高，这影响到产业界的投资购买意愿，也影响到加工成本，间接阻碍了激光加工对象和范围的拓展。?
3.3技术人员养成
激光的操作使用毕竟不同于传统的加工设备，一般需要一定程度的技术人员，厂商需自己培训，在工人流动性频繁的情况下，操作技术人员的养成和经验之积累实在不容易。而一位对激光设备不熟悉、经验有限的技术人员，将无法把激光设备的特有功能发挥到极限，也会常发生下述现象：加工品质不良、加工速度太慢、不懂保养机器、机器故障连连、减短机器寿命、机器耗材严重等。
3.4耗材费用高
CO₂激光加工机运转时，须要消耗氦气和大量的氧气，提高了激光加工成本，所以在投资购买机器时，须考虑该机器的气体消耗量。另外操作技术的好坏、定期保养与否，也会影响到光学镜片和高压零部件等的消耗量，而这些部件售价都很高。目前CO₂激光加工机数量增多，也促使一些消耗器材、光学组件和高压零部件的价格降低.
3.5特殊加工制程的开发
CO₂激光的切割应用，加工技术较单纯，加工条件也较容易掌握，一般说来没有工艺上的问题。但比较特殊的激光加工技术或加工材料如：焊接、硬面处理、立体加工和陶瓷加工等，加工业者必须先作熟悉加工的特殊工艺，掌握加工条件，以及自动进料﹑夹具等的配合，这并非一般业者能力所及，在这些问题未能充分掌握和解决之前，投资动则数百万的激光设备，对大部分中小企业来说困难很大。而以前能够协助业者作这方面技术开发的机构一直缺乏，影响了激光特种加工应用市场的开展。
3.6工作环境不良
CO₂激光机器内有许多的光学和高压零部件，是比较脆弱的机器，需要在良好工作环境中操作使用，否则容易污损而出现故障。但是传统工厂有很多不重视工作环境的改善，空间小而杂乱、湿气重、灰尘多、电源电压不稳、冷却水质差等，这些都会影响激光设备的使用效果和寿命。

4、工业CO₂激光应用展望

激光加工是未来材料加工应用发展的趋势之一，而CO₂激光加工一直占激光材料加工中最主要的地位，世界激光市场也以CO₂激光机器为主力，约占全部的七成左右，每年以百分之十左右的速度增长。近几年来，随着国际和国内整体产业环境的改变，在产业水准提升、专业人员缺乏、自动化需求增加、产品附加价值和加工质量有待提高的压力下，激光加工应用已逐渐被国内产业界接受并采用。由于起步较晚，短期内可维持较高的激光市场增长率，加工应用的市场潜力也很大。但产业界和工业CO₂激光的使用者，仍然有许多问题需要去解决，尤其在相关技术人员的养成训练和新的加工应用领域开拓这两方面，更须下大力气。激光激光的前景是广阔的，激光加工手段的不断进步必将带来材料加工领域的一次革命。