国家/地区  中华人民共和国
 展会区域  上海
 展会城市  上海
 展会地址  上海光大会展中心
 展会时间   2010-5-27至2010-5-29
 创办时间    
 所属行业   化工/能源/环保
 展会介绍  主办单位：中国微米纳米技术学会

支持单位：中国微纳米企业协会

           中国科学院上海微系统所

           中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会

           中国机械工程学会微纳制造技术分会

Micromachine/MEMS CHINA 2010 中国（上海）国际微机械/MEMS展览会暨新技术与产业化论坛是由中国微米纳米技术学会联合中国微纳米企业协会、中国科学院上海微系统所、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、中国机械工程学会微纳制造技术分会协会共同主办的专业展会，集中展出MEMS研究设备与MEMS器件。 作为中国xxx、知名度{zg}、最xx的Micromachine/MEMS展览会，Micromachine/MEMS CHINA 2009取得了极大的成功。Micromachine/MEMS CHINA 2009的国际参展商主要来自4个国家和地区，分别为日本、韩国、德国、美国，展位数目257个，展出面积4000平米，共有3776名专业观众参观了Micromachine/MEMS 2009，集中在半导体、汽车、电子制造、微电子等多个领域。国际专业观众来自17个国际和地区，其中英特尔、意法半导体公司、华虹NEC、SONY、丰田、比亚迪、本田等全球知名公司组团前来参观了我们的展览。

Micromachine/MEMS CHINA 2009召开了中国国际微纳新技术与产业化论坛，共有来自5个国家和地区的34名Micromachine/MEMS领域的专家共发表了37场代表Micromachine/MEMS{zx1}前沿的学术报告！共有375人注册参与了论坛！1270流动观众听取了报告。

    Micromachine/MEMS CHINA2010已经得到了企业界的大力支持！飞思卡尔半导体公司以及意法半导体公司出任本次大会的赞助单位。他们将为Micromachine/MEMS CHINA带来{zx1}的Micromachine/MEMS器件以及代表Micromachine/MEMS{zx1}技术的主题报告！

    同期仍将召开国际微纳新技术与产业化论坛！由国家纳米中心及中国微米纳米技术学会知名专家学者，飞思卡尔半导体公司，意法半导体公司，英特尔（中国）等知名公司的研究人员进行Micromachine/MEMS方面{zx1}研究成果的研讨以及发言，期间全球知名的设备供应商也将针对其{zxj}的研究设备进行专题介绍！

    我们期待更多的企业参加我们的展会与论坛，进行同行业间的合作与交流，在展示形象、拓展市场的同时，寻求合作伙伴和发展商机。同时，也希望通过我们的努力使贵公司能够在此届展会与论坛上取得{zd0}的收获！

展出范围

MEMS 加工设备

 薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备

纳米压印技术

 微纳米模型；纳米压印生产设备

纳米机械, 微制程技术

 超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等

分析与检测仪器

 光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统

软件建模

 设计工具、仿真软件、CAD & CAExxxx

MEMS 代工服务

 仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀

材料

 压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料

生物技术与医疗应用

 MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；{jd0}DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等

MEMS 器件

 光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)

MEMS 应用

 产品 (麦克风,显示等)；超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集
 
 商展周期   每年一届
 主办单位   中国微米纳米技术学会
 联系地址   上海市三泉路共康6-178号601室 邮编：200435　　MEMSCHINA2010组委会
 电 话   021-56436721
 传 真   021-56436721
 联系人   黎阳
 电子邮箱   liyang@memschina.cn
 网址   http://www.memschina.cn