高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 wTHK=n\i
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美国SCI为世界薄膜度量系统和xxxx行业的领军者， 2IKxh
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 `x2fp6
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 ]&&I |K_
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 h |s*i
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. U,oD44
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） {;]uL`abi?
2.折射率n zi?qK?m
3.吸收系数k ^?H\*N4
4.双折射率 R=2
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5.能隙（Eg） C\; ;9
6.表面粗糙度和损伤 [{6 &.v
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） yC 9:sQ'k
8.薄膜温度特性 uKLOh<oio
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Y}V)4j
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 iqU.a/~y
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： w]]x[D]L
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 ^L*VW
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