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是一种基于霍尔效应的器件,它能实现磁电转换,可用于检测磁场及其变化。
霍尔效应虽然在1879年才被发现,但是直到20世纪50年代才出现了对其的应用,然而器件成本很高。1965
年,人们开始将霍尔传感器集成进硅芯片中,从而促进了霍尔器件的应用。
随着电子技术的进一步发展,业界对霍尔器件提出了一些新的要求:
新的器件结构
常规霍尔元件要求磁场垂直于霍尔元件,且在整个霍尔元件上是均匀磁场。而在其他情况下,需要根据磁
场分布情况,设计各种各样相应的非平面霍尔结构。其中,垂直式霍尔器件是新开发出来的,具有低噪声、低
失调和高稳定性的特点。
新的应用环境要求霍尔器件更加小型化、更高的灵敏度且集成度更高。为了适用于空间较小的检测环境,
例如电动机中的间隙、磁力轴承以及其他像永磁体扫描等需接近测量表面的场合,需要更加小型化的器件。
另外,为了检测更小的变化量,需要灵敏度更高的器件。器件的小型化不仅适应了新的应用环境,也降低
了器件成本。
国外霍尔传感器的发展方向就是采用CMOS(互补金属氧化物半导体)技术的高度集成化,同样功能可以集
成在非常小的芯片内,如信号预处理的最主要部分已在霍尔器件上完成。其中包括前置放大、失调补偿、温度
补偿、电压恒定等,并且可以在芯片上集成许多附加功能,如数据存储单元、定时器A/D转换器、总线接口等。
所有这些都采用CMOS标准,它们开辟了霍尔器件新的应用领域。
由于采用了微电子工艺,硅霍尔传感器能很好地适用于许多工业应用,这极大地推动了霍尔器件的发展。
目前,国外霍尔传感器的研发进展迅速,不仅解决了与EMC(电磁兼容性)器件的协同工作问题,而且感应精度
也得到了提高。但是,霍尔传感器的可靠性将是下一步必须着重考虑的问题。
另外,霍尔传感器的成本较高,因此其应用领域基本锁定在汽车等xx市场,而对于需求量较大、对成本
控制非常严格的消费电子市场则受到了成本的限制。相信随着技术的进一步发展,霍尔传感器走进手柄等消费
电子应用领域将是大势所趋。
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