原理：三次元量测仪可定义为：一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(x,y,z)及各项功能量测的仪器。其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过*而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。
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