热场发射扫描电子显微镜« 日本电子

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从上个世纪60年代初开始,JEOL在扫描电子显微术的发展和进步中一直扮演主导角色。历经四十余载,扫描电子显微镜已经成为科研机关和企业单位进行高科技研究和常规分析测试中不可或缺的工具。至今,JEOL在全世界安装的扫描电子显微镜已超过8000台。

扫描电子显微镜在纳米技术中得到了新的应用。纳米加工技术十分先进。为此,开发出新的扫描电子显微镜技术,可供研究人员观察所得到的结构。此外,越来越多的失效分析、病理学、法医学、冶金学和环境分析实验室用扫描电子显微镜代替传统的光学显微镜。

随着扫描电子显微镜应用范围的不断扩大,特别是应用于新的探索,对分辨率和多功能性的要求越来越高。JEOL始终保持与世界新技术的发展同步,为用户提供微观和纳米尺度的{zx1}成像技术。

  • 场发射源提供更高分辨率
  • 小束斑下获得高稳定性的大束流,产生强X射线信号,在获得高分辨率图像的同时进行成分分析。
  • 半漏磁设计利用物镜内部的二次电子探测器更有效地捕获二次电子,减少短工作距离下的噪音。
现有型号
发射枪类型 分辨率 加速电压 放大倍数 样品台
in-lens thermal 1.2nm (30kV)
3.0nm (1kV)
3.0nm (15kV 10mm WD 5namp Ip)
0.5 to 30 kV x10 to 650,000 Type I
X=70mm
Y=50mm
Type II
X=110mm
Y=80mm
Type III
X=140mm
Y=80mm)
in-lens thermal 1.0nm (15kV)
1.5nm (1kV)
0.1 to 30 kV x25 to 1,000,000

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