三星的逻辑LSI硅代工业务,完成32nm工艺量产准备

  韩国三星电子宣布,该公司的硅代工部门已经完成了32nm工艺SoC(System on a Chip)工艺技术的开发,并做好了受托生产的准备工作。能够代工量产采用high-k绝缘膜和金属栅极技术的低功耗版(LP)工艺,以便携产品用SoC为对象的产品。目前已经在该公司的硅代工业务基地——韩国器兴的300mm生产线“S生产线”上完成了工艺验证。

  三星采用的32nm工艺的基础是三星通过以美国IBM为主的CMOS工艺技术联合开发联盟(IBM Joint Development Alliance)开发的技术。该技术采用了在晶体管制造工艺的开始部分形成金属栅极的“先行栅极(Gate First)方式”,通过最小化对电路板图案的限制(RDR:Restrictive Design Rule,限制性设计规则),与45nm工艺相比集成密度提高了一倍。三星表示,“这是一项用于微细化的工艺,可轻松过渡到28nm代LP工艺”。

  作为32nm工艺验证的一部分,三星电子试制了SoC,已经证实与采用45nm代LP工艺的SoC相比可削减功耗。据介绍,在工作频率相同的条件下,可将工作时的功耗和漏电耗能分别降低30%和55%。SoC中配备了三星硅代工业务合作企业的IP。分别为英国ARM的处理器内核“ARM 1176 core”与物理IP(标准单元和内存编译器等),以及美国新思科技(Synopsys)的“USB 2.0 OTG”等。

  此外,三星还通过与新思科技、美国益华电脑(Cadence Design Systems)以及美国明导科技(Mentor Graphics)等大型EDA厂商之间的合作,在32nm代LP工艺的设计流程中采用了下面提到的技术。分别是(1)电源门控(Power Gating)、多阈值电压、多通道长度以及自适应体偏置(Body Bias)等漏电耗能削减技术;(2)统计静态时序分析(SSTA:Statistical Static Timing Analysis);(3)单元级别以及芯片级别的多种DFM(Design For Manufacturability,可制造性设计)。(记者:大下 淳一)

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