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JXA-8230第5代超级探针是一款高分辨率、高稳定、WD/ED组合的电子探针显微分析仪 (EPMA)，新的PC控制操作环境用于数据的采集和分析。
分析仪最多能组合5道波长色散X-射线波谱仪(WDS)和一台新研发的能量色散X-射线波谱仪 (EDS)，特色的谱图成像技术，确保了{zg}效、准确的分析数据。WD/ED组合系统能同时进行WDS的5种元素和EDS的全元素分析。还可以同时显示和观测由高灵敏固体检测器提供背散射电子像以及二次电子像和选配件的阴极荧光像。
新的组合使用了WD/ED的JXA-8230显微分析仪可提供:
- 新的大晶体谱仪在保证对微量元素检测的高灵敏度和增加计数率的同时，又不损失能量分辨率和 P/B 比
- 新的PC 自动化易于操作
- EDS谱图成像
- 选配件的无风扇SDD X-射线检测器具有高通量
- 高度准确的定量分析
- 对相邻X-射线的高分辨能力（分辨率）
- 对轻元素的高度准确的定量分析
全自动样品台通过气锁可以对应 100mm长 x 100mm宽 x 50mm 厚的样品.
