目前，国外厂商生产的传送器中应用的MEMS压力变感器重要有压阻式和电容式2种结构，以压阻式结构居多。西子公司DSm系列压力变送器就是采取压阻式构造的压力传感器。美国罗斯蒙特公司3o51系列压力变送器的传感器芯片也是压阻式构造。压阻式传感器利用非常普遍。国内很多厂商依附入口压阻式传感器，设汁制作国产变送器。压阻式传感器技巧成熟，很合适国产化研制。但是，压阻式传感器轻易受温度、湿度等环境因素影响，而且，静压特征依附工艺程度，无法得到保证。这两大难点限制了国产压阻式传感器的丈量精度和稳固性。

　　以富士公司为代表的少数企业生产了以硅电容传感器为核心的压力变送器。电容式压力传感用具有精度高、长期稳定性好的长处，但是,，它对生产工艺请求高，加工难度大。国内从事硅电容压力传感器的研讨可以说是刚刚起步,。尽管国内已经有单位研制出了硅电容传感器它的精度和静压特征已接近富士公司产品的均匀水平，但在长期稳定性方面，差距较大。同时，国内的电容传感器在高差压和微差压规格的开发上仍有较大差距。国外压阻式传感器精度可以到达0.075%，而国内研制的压阻式传感器的精度只有0.1%。在长期稳定性能上，国产传感器和入口传感器的差距更为显明。国产产品长期稳定性的指标为0.1%/年，比国外产品至少高2倍。另外，国产产品的温度特征差。与国外产品相比，温度漂移比国外产品的典范值大50%～{bfb}。此外,，国产产品的规格品种不够全，在微差压和高差压、高静压规格方面没有成熟的产品，不能满足某些工艺的特别请求。

　　压力传感器的国产化问题的要害重要是如何提高传感器的长期稳定性。传感器的长期稳定性和传感器的资料选择、构造设计、加工工艺亲密相干。我国在MEMS加工工艺上还处于相对落伍阶段，进步工艺水平无疑是进步性能的长远之计。

　　目前，国内相干高校和科研院所对压阻式和电容式MEMS传感器进行了大批的研讨，在理论和工艺程度上都取得了一批结果。就当前工艺程度而言，假如能够实现某种情势的补偿或者在线的自标定方式，则有可能在短期内进步传感器的长期稳固性，使国产传感器在稳固性指标上满足石化行业需求。因此，在国内MEMS研讨的基本上，通过科研院所和工厂的协同合作，共同尽力，完整可以实现石化行业所需压力变送器的国产化。 相关的主题文章：