薄膜单点力传感器分析_whf1205_新浪博客

1923年WUSTROW首先系统地提出了咬合力的研究课题,从此人们开始了力传感器/的研究工作。今天力传感器的研究工作已经取得了长足的进步,形成了压阻式压力传感器、电容式压力传感器、压电式压力传感器和电感式压力传感器等;其中,电阻式应用最为广泛因为它能够承载较大的外力;同时部分传感器已经商业化了。为了能够测量出某一接触面上压力的分布情况,人们研究了各种薄膜传感器如低成本传感器、厚膜传感器等。虽然有面分布压力检测传感器如硅橡胶压力传感器;但在实际的生产和生活中有时需要对某一啮合点间的作用力进行测量,并且啮合点处的测量缝隙狭小、操作不方便、处于单点啮合状态;因此须要展开对单点啮合状态下啮合力的研究工作。
为了方便地检测出处于点啮合状态下两物体间的啮合力例如空间凸轮与鼓型磙子之间的啮合力,提出了薄膜单点力传感器。通过丝网印制工艺制作出了薄膜单点力传感器,并对该传感器的性能进行了测试、分析和讨论。

为了设计出能够满足上述工作状况的薄膜单点力传感器/,首先需要研究其检测原理和传感结构。压力传感器按结构形式可分为四大类:电容式、压阻式、应变式、压电式;其中,压阻式、电容式压力传感器应用最普遍。因为压阻式结构简单、承受载荷大、受温度影响较小,因此采用了压阻式。所采用的材料为:绝缘保护PET薄膜、碳二硫化钼压敏电阻油墨、银导电电极。其检测原理是利用实心轴向柱式压阻效应实现检测的。

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