卤素与许多金属和非金属元素反应，可以生成一系列卤素无机化合物。其中，常用的在常温下呈气态的无机氟化物有氟化氢、三氟化氮、三氟化硼、三氟化磷、五氟化磷、五氟化砷、六氟化硫和六氟化钨等;常用的氯化物气体主要有氯化氢、二氯氢硅和三氯化硼；气态溴化物位溴化氢。

氟化氢，分子式HF，相对分子质量20.008，其在水溶液被称作氢氟酸。1670年在德国的Schwankhar，有人用酸和萤石蚀刻玻璃时制得氟化氢，1764年Marggaf证明这种物质是一种气体，1771年，Scheele证明并发现了氢氟酸，1890年Thenard和 Gay-Lussac制备了氟酸，Ampere在1810年、Davy在1813~1814年分别电解氟化氢，证明氟化氢中含有一种新元素（氟）。1856年Fremy通过加热净化过的氟化氢钾制得无水氟化氢。常压下，温度高于19.51℃时，氟化氢为无色、有刺激性气味的气体。氟化氢有吸湿性，在空气中吸湿用，氟化氢气相中存在着强烈的缔合，造成氟化氢气体中不仅有单质还有分子团，因而其热力学性质大大地偏离理想气体的性质，同时也使得氟化氢的临界性质与其他卤化物的性质差别很大。气体缔合程度和温度和压力都有关系，例如，在沸点时，氟化氢饱和蒸汽的平均分子量为78.24，而在100℃时，其饱和蒸汽的平均分子量为49.08。氟化氢是氟化物中产量{zd0}、最重要的品种，是有机氟系列产品中氟元素的主要来源。目前，由于环境保护的限制和技术的进步，氟化氢的需求量正呈下降趋势。

六氟化硫，分子式SF₆，相对分子量146.06，分子结构为硫原子在中央的一个正八面体，氟原子位于该正八面体的各隅角，S-F键的键长为158pm,属xx对称型结构。六氟化硫最早是由Moissan和 Lebeau于1990年通过让硫在氟气中燃烧，并除低氟化合物后，首先分离和鉴定出来的。在常温常压下，六氟化硫是一种无色、无味、xx、无腐蚀性、不燃、不爆炸的气体，密度约为空气的5倍，表面张力小。在低温和加压情况下呈液态，冷冻后变成白色固体。六氟化硫具有良好的化学稳定性和热稳定性，{zy1}的电绝缘性能和灭电弧性能，因此，是一种用途广泛的新型工业材料，广泛用于电器，宇航，电子，气象，制冷，冶金，激光，机器制造，医学等领域。高纯六氟化硫还在集成电路制造工艺中用作蚀刻剂。

五氟化砷，分子式AsF₅,相对分子质量169.91，平均化学键为387KJ/mol.常温常压下，五氟化砷为无色、有毒的刺激性气体。

六氟化钨，WF₆,相对分子质量297.85，是密度{zd0}的一种气体化合物。常温下六氟化钨为无色气体，有毒、有刺激性。能伤害眼睛和皮肤，蚀设备和管道。对于六氟化钨的拉曼光谱、紫外光谱和红外光谱已有研究报道。

氯化氢，分子式HCl,相对分子质量36.461，其水溶液称为盐酸，具有强腐蚀性。氯化氢气体曾在某些火山喷发的气体中被大量的发现，但最早是由Priestley于1772年收集氯化氢气体并值得盐酸，并于1810年由Davy证明其为氯化氢的化合物。无水氯化氢是无色而有刺激性气味的气体。作为重要的工业用化学物质，氯化氢广泛应用于橡胶制造业、制药业、有机和无机化学等领域。

二氯氢硅又称二氯硅烷，二氯二氢硅烷，分子式SiH2Cl,相对分子质量101.01，常温下为有刺鼻甜酸味的无色气体，加压情况下可液化，为低压液化气体。二氯氢硅可溶于苯、乙醚、xxxx等有机溶剂。二氯氢硅有毒，易燃，着火点低于3℃，自燃温度为180℃，在温度20℃和压力0.101MPa下的爆炸范围（空气中）为4.1%~98.8%。

三氯化硼，BCl₃,相对分子质量117.2，分子的类型为平面三角行，B-Cl原子间距为174pm.三氯化硼常温常压下为无色气体，不燃烧，有毒，能刺激人体皮肤、粘膜和呼吸道系统。

溴化氢，HBr,相对分子质量80.92，为无色、具有强刺激性的有毒气体。溴化氢易于液化，加压或降温均可液化为淡黄色液体。