大粒径硅溶胶胶粒具有庞大的比表面积(表面多介孔结构)和 的吸附能力以及较强的稳定性和粘结性能,在化学机械抛光中可以形成坚固的膜,不容易发生龟裂,同时硅溶胶胶粒粒径越大,硅溶胶附着在固体表面时的摩擦系数越大,从而改善了材料表面的耐磨性。且要求硅溶胶中无有机物,同时颗粒分散均匀,浓度要高,这是抛光硅溶胶的关键所在。