上海伯东 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 又获真空设备商订单

上海伯东德国 , 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.
 应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 完 全符合工艺要求.
普发全量程真空规 PKR 251
 

 技术参数

型号

接口

测量范围
(空气, N2)

最 大压力
(绝 对值)

准确度

可重复性

输出信号(测量信号)

电源电压

PKR 251

DN25 ISO-KF
DN40 ISO-KF
DN40 CF-F

5X10-9 至 1000 hPa

10000 hPa,
仅 限于惰性气体且温度 < 55 °C

在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 30 %

在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 5 %

电压范围
大约 0 V – 大约 +10.5 V

在真空计处
15.0至30.0 V DC


上海伯东  德国产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

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上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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