上海伯东德国 , 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.
应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 完 全符合工艺要求.
技术参数
型号 |
接口 |
测量范围 |
最 大压力 |
准确度 |
可重复性 |
输出信号(测量信号) |
电源电压 |
PKR 251 |
DN25 ISO-KF |
5X10-9 至 1000 hPa |
10000 hPa, |
在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 30 % |
在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 5 % |
电压范围 |
在真空计处 |
上海伯东 德国产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.
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