半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!

为什么选择伯东？

伯东公司成立于1953 年，超过65年历史。

上海伯东所有产品保证100%原装进口，拥有强大售后服务团队，拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

上海伯东是美国 HVA 在中国地区总代理商.

上海伯东美国 HVA 优势：

1. 满足高真空（1E10-9  mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用；
2. HVA 口径 DN 16 至 800 mm；
3. 坚固耐用，超长使用寿命，可达1,000,000 启动次数；
4. 清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等联用；
5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S；
6. 可选择驱动方式多，手, 气, 电动可选；
7. 有效保护分子泵。气动和电动均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用；
8. 标准或定制法兰满足不同应用；
9. 国际标准，全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口。

美国 HVA 超过40年的阀门研发生产经验,与友厂对比,HVA 阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消了虚漏的可能.

 

在售产品：

上海伯东是德国  真空设备, 美国  考夫曼离子源, 美国  高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 和日本  离子蚀刻机等进口品牌的代理商 .我们真诚期待与您的合作！

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