为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题, 国内某制造商用伯东 辅助飞秒激光加工技术对碳化硅微纳结构表面进行刻蚀.

伯东 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 技术参数:

推荐理由:

使用 KRI 聚焦型射频 RFICP 380可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀、减薄.

工艺简介：

在碳化硅表面制备微纳结构图形, 然后通过 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 对碳化硅微纳结构进行刻蚀, 以调控结构的线宽和深度.

运行结果:

1. 结构表面粗糙度由约 106nm 降低到 11.8nm

2. 碳化硅线条结构周围的毛刺基本消失, 线条结构表面的粗糙度得到改善, 降低结构表面的粗糙度实现高平滑度微光学元件的制备

3. 通过 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果

伯东是德国  , , , , 美国  , 美国, 美国  , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.

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