某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.
HVA 不锈钢 11000 系列标准技术规格:
|
阀门材质: |
|
|
- 阀门主体 |
304 不锈钢 |
|
- 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
|
阀门密封方式 |
|
|
- 高真空 |
氟橡胶 |
|
- 超高真空 |
铜垫圈 / 氟橡胶 |
|
真空: |
|
|
- 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
|
- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
|
- 差压关闭 |
1 bar ( 任意位置 ) |
|
- 开启前最，大压力 |
≤ 30 mbar |
|
烘烤温度（不含电磁阀）: |
|
|
- 弹性体密封阀盖 |
150°C |
|
- 金属密封阀盖 |
-开启温度：200°C -关闭值：150°C |
|
- 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
|
机制 |
|
|
手动： |
手摇曲柄 |
|
电磁阀供电电压 |
120 VAC 50 /60 Hz |
|
电磁阀可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
|
电磁阀位置指示器,最，大 |
115 VAC |
|
气动送风： |
80 psig |
|
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
|
|
公称通径: DN 16 - 800 mm |
|
E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最、后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯东版权所有, 翻拷必究!
